長平晶的結(jié)構(gòu)用途
核心摘要：簡述長平晶的結(jié)構(gòu)和用途。長平晶是以等傾干涉法檢定研磨面平尺平面度的標(biāo)準(zhǔn)量具。長平晶按尺寸分為210mm和310mm兩種。制造長平品
簡述長平晶的結(jié)構(gòu)和用途。長平晶的結(jié)構(gòu)用途 長平晶的結(jié)構(gòu)用途 長平晶的結(jié)構(gòu)用途 長平晶的結(jié)構(gòu)用途
長平晶是以等傾干涉法檢定研磨面平尺平面度的標(biāo)準(zhǔn)量具。長平晶按尺寸分為210mm和310mm兩種。制造長平品的材料為K9光學(xué)玻璃。
長平晶的非工作面上有表示受檢點(diǎn)位置的十字刻線，對于210mm長平晶有7個十字刻線，刻線間隔為30mm，兩端十字刻線距端面為15mm;對于310mm長平晶兩端十字刻線距端面為20mm，刻線間隔為30mm，共有9個間隔，另外在對稱中點(diǎn)位置上增加一個十字刻線，共有11個十字刻線。
長平晶的外形圖如圖7-30所示。外形尺寸見表7-10。
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長平晶的外形尺寸 表7-10
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長平晶長度
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寬度
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厚度
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新制的
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修理后的
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210mm±1
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40±1
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25±0.5
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≥23
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310mm±1
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30±0.5
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≥27
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使用長平晶時，考慮到其自重變形對測量的影響，且便于修正，應(yīng)使長平晶支承在固定的位置上，并使工作面向下。一般常在工作面兩端研合兩塊尺寸差小于0.1μm的0級量塊;或用一專用鋼球支承架，如圖7-31所示，其支承鋼球的尺寸差應(yīng)在0.1μm以內(nèi)。長平晶連同其支承一起放在被測表面上，用等傾干涉法進(jìn)行平面度測量。
長平晶工作面平面度見表7-11。
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表7-11 長平晶工作面的平面度
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規(guī)格/mm
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平面度/μm
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在工作長度內(nèi)(在無自重變形時)
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在橫向40mm內(nèi)
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210
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-0.3~0
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0.1
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310
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-0.45~-0.15
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長平晶主要用于研磨面平尺平面度的檢定。
長平晶使用時注意什么問題?
長平晶使用時應(yīng)注意其支承與放置問題。
由于長平晶屬細(xì)長類形狀的量具，其自重變形的狀態(tài)和大小隨支承形式及支承位置的不同而變化，一般長平晶不能像平面平品那樣直接置于被測表面上檢測。檢測時必須在規(guī)定位置上放上支承塊，一般可在工作面兩端研合兩塊尺寸差小于0.1μm的量塊，或用專用鋼球支承架。將長平晶工作面向下安放在被檢表面上，用等傾干涉法檢測。
由于長平晶自重的影響，因此長平晶工作時其工作面的平面度應(yīng)包括長平晶本身自重變形量。長平晶各點(diǎn)的變形修正量按下式計算:
Fi=Δyi-△yo
式中Fi—長平晶在i點(diǎn)的自重變形修正量，μm;
△yi—長平晶在i點(diǎn)的自重變形量，μm;
△yo—長平晶在。點(diǎn)的自重變形量，μm。
