長(zhǎng)平晶的結(jié)構(gòu)用途
核心摘要：簡(jiǎn)述長(zhǎng)平晶的結(jié)構(gòu)和用途。長(zhǎng)平晶是以等傾干涉法檢定研磨面平尺平面度的標(biāo)準(zhǔn)量具。長(zhǎng)平晶按尺寸分為210mm和310mm兩種。制造長(zhǎng)平品
簡(jiǎn)述長(zhǎng)平晶的結(jié)構(gòu)和用途。長(zhǎng)平晶的結(jié)構(gòu)用途 長(zhǎng)平晶的結(jié)構(gòu)用途 長(zhǎng)平晶的結(jié)構(gòu)用途 長(zhǎng)平晶的結(jié)構(gòu)用途
長(zhǎng)平晶是以等傾干涉法檢定研磨面平尺平面度的標(biāo)準(zhǔn)量具。長(zhǎng)平晶按尺寸分為210mm和310mm兩種。制造長(zhǎng)平品的材料為K9光學(xué)玻璃。
長(zhǎng)平晶的非工作面上有表示受檢點(diǎn)位置的十字刻線，對(duì)于210mm長(zhǎng)平晶有7個(gè)十字刻線，刻線間隔為30mm，兩端十字刻線距端面為15mm;對(duì)于310mm長(zhǎng)平晶兩端十字刻線距端面為20mm，刻線間隔為30mm，共有9個(gè)間隔，另外在對(duì)稱中點(diǎn)位置上增加一個(gè)十字刻線，共有11個(gè)十字刻線。
長(zhǎng)平晶的外形圖如圖7-30所示。外形尺寸見(jiàn)表7-10。
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長(zhǎng)平晶的外形尺寸 表7-10
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長(zhǎng)平晶長(zhǎng)度
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寬度
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厚度
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新制的
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修理后的
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210mm±1
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40±1
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25±0.5
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≥23
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310mm±1
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30±0.5
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≥27
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使用長(zhǎng)平晶時(shí)，考慮到其自重變形對(duì)測(cè)量的影響，且便于修正，應(yīng)使長(zhǎng)平晶支承在固定的位置上，并使工作面向下。一般常在工作面兩端研合兩塊尺寸差小于0.1μm的0級(jí)量塊;或用一專用鋼球支承架，如圖7-31所示，其支承鋼球的尺寸差應(yīng)在0.1μm以內(nèi)。長(zhǎng)平晶連同其支承一起放在被測(cè)表面上，用等傾干涉法進(jìn)行平面度測(cè)量。
長(zhǎng)平晶工作面平面度見(jiàn)表7-11。
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表7-11 長(zhǎng)平晶工作面的平面度
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規(guī)格/mm
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平面度/μm
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在工作長(zhǎng)度內(nèi)(在無(wú)自重變形時(shí))
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在橫向40mm內(nèi)
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210
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-0.3~0
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0.1
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310
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-0.45~-0.15
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長(zhǎng)平晶主要用于研磨面平尺平面度的檢定。
長(zhǎng)平晶使用時(shí)注意什么問(wèn)題?
長(zhǎng)平晶使用時(shí)應(yīng)注意其支承與放置問(wèn)題。
由于長(zhǎng)平晶屬細(xì)長(zhǎng)類形狀的量具，其自重變形的狀態(tài)和大小隨支承形式及支承位置的不同而變化，一般長(zhǎng)平晶不能像平面平品那樣直接置于被測(cè)表面上檢測(cè)。檢測(cè)時(shí)必須在規(guī)定位置上放上支承塊，一般可在工作面兩端研合兩塊尺寸差小于0.1μm的量塊，或用專用鋼球支承架。將長(zhǎng)平晶工作面向下安放在被檢表面上，用等傾干涉法檢測(cè)。
由于長(zhǎng)平晶自重的影響，因此長(zhǎng)平晶工作時(shí)其工作面的平面度應(yīng)包括長(zhǎng)平晶本身自重變形量。長(zhǎng)平晶各點(diǎn)的變形修正量按下式計(jì)算:
Fi=Δyi-△yo
式中Fi—長(zhǎng)平晶在i點(diǎn)的自重變形修正量，μm;
△yi—長(zhǎng)平晶在i點(diǎn)的自重變形量，μm;
△yo—長(zhǎng)平晶在。點(diǎn)的自重變形量，μm。
