真空分析質(zhì)譜計(jì)的一般要求為：
儀器探頭尺寸小、質(zhì)量輕、易于安裝；
對(duì)于磁偏轉(zhuǎn)型儀器和擺線型儀器來說，儀器的雜散磁場(chǎng)必須很??；
儀器探頭應(yīng)具有互換性，成本低，允許一機(jī)可配用數(shù)個(gè)探頭；
探頭能經(jīng)受400℃烘烤，離子源能用電子轟擊除氣，以減小“記憶效應(yīng)”：
儀器的質(zhì)量標(biāo)度*好為線性標(biāo)度，工作質(zhì)量范圍的調(diào)節(jié)要方便；
儀器應(yīng)易于操作，離子源的工作參數(shù)應(yīng)盡量固定；
具有較高的掃描速度，至少能將一部分質(zhì)譜顯示在示波器上。
對(duì)于分壓計(jì)來說，還應(yīng)要求：
質(zhì)譜的峰強(qiáng)和質(zhì)譜的圖形系數(shù)對(duì)應(yīng)真空系統(tǒng)中的氣體量之間應(yīng)具有一定的定量關(guān)系；
探頭連接管的流導(dǎo)要大，減小壓力差和質(zhì)量歧視，*理想的是能作成裸規(guī)形式的探頭；
要求磁偏轉(zhuǎn)型和擺線型質(zhì)譜計(jì)，在重新安裝磁鐵后，對(duì)儀器性能不需再作校準(zhǔn)；
采用低工作溫度的陰極和低發(fā)射電子流，以減小對(duì)分子的熱分解、電**及化學(xué)**效應(yīng)；
采用標(biāo)準(zhǔn)的電子轟擊能量，從而盡可能使用標(biāo)準(zhǔn)的碎片圖形（離子譜）；
良好的峰形、一致的峰寬，便于計(jì)算機(jī)處理數(shù)據(jù)。
真空分析質(zhì)譜計(jì)和分壓計(jì)的一般要求如上介紹，為特定目昀而選擇儀器時(shí)，應(yīng)首先從所需要的質(zhì)量范圍來確定所要求的*小可檢分壓力，再考慮在此靈敏度下儀器的分辨本領(lǐng)和掃描速度等。