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氣動(dòng)測(cè)微儀的量?jī)x原理
 
      氣動(dòng)測(cè)微儀通常由已知長(zhǎng)度部分、定位瞄準(zhǔn)部分、放大細(xì)分部分、顯示記錄部分以及計(jì)算部分等組成。量?jī)x種類(lèi)繁多，按工作原理可分為：①機(jī)械式量?jī)x。如杠桿-齒輪式比較儀、扭簧比較儀和測(cè)微儀等。②光學(xué)量?jī)x。如測(cè)微自準(zhǔn)直儀、測(cè)角比較儀、平直度檢查儀、立式光學(xué)計(jì)、臥式光學(xué)計(jì)、超級(jí)光學(xué)計(jì)、立式測(cè)長(zhǎng)儀、萬(wàn)能測(cè)長(zhǎng)儀、工具顯微鏡、投影儀、接觸式干涉儀、激光干涉儀、激光干涉比長(zhǎng)儀和光學(xué)分度頭等。③電動(dòng)量?jī)x。如電動(dòng)測(cè)微儀、靜態(tài)光電顯微鏡、動(dòng)態(tài)光電顯微鏡、光電準(zhǔn)直光管、電感式比較儀、電容式比較儀、輪廓儀和圓度儀等。④氣動(dòng)量?jī)x。如低壓水柱式氣動(dòng)量?jī)x、差壓水柱式氣動(dòng)量?jī)x、差壓水銀柱式氣動(dòng)量?jī)x、高壓薄膜式氣動(dòng)量?jī)x、波紋管式氣動(dòng)量?jī)x和流量式氣動(dòng)量?jī)x（浮標(biāo)式氣動(dòng)量?jī)x）等。另外，量?jī)x也可按用途等進(jìn)行分類(lèi)。量?jī)x的精度評(píng)定方法主要有檢定法、比對(duì)法和誤差分離法等。

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