名稱
內(nèi)容
測量
范圍
Z軸(垂直)
±80μm/±160 μm(增強型)
X軸(水平)
20mm
分辨率
Z軸
(垂直)
0.01μm/±20μm
0.02μm/±40μm
0.04μm/±80μm
0.08μm/±160μm
項目
參數(shù)
Ra、Rz、Rq、Rt、Rp、Rv、R3z、R3y、RzJis、Ry、Rs、Rsm、
Rsk、Rmr、Rku、Rmax、Rc、Rpc、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2
標(biāo)準
ISO,ANSI,DIN,JIS
圖形
支承率曲線,粗糙度輪廓,直接輪廓
濾波器
RC,PC-RC,Gauss,D-P
取樣長度(lr)
0.25,0.8,2.5mm
評定長度(ln)
Ln= lr×n n=1~5
傳感器
測量原理
位移式差動電感
觸針
天然金剛石,90錐角,5μm針尖半徑
測力
<4mN
導(dǎo)頭
硬質(zhì)合金,滑行方向半徑40mm
滑行速度
lr=0.25, Vt=0.135mm/s
lr=0.8, Vt=0. 5mm/s
lr=2. 5, Vt=1mm/s
返回 Vt=1mm/s
示值誤差
不大于±10%
示值變動性
不大于6%
電源
內(nèi)置鋰離子充電電池,用DC5V,800mA充電器充電
外形尺寸
主機:64*53*160mm 驅(qū)動器:23*27*115mm
重量(主機)
約380g
工作環(huán)境
溫度:- 20℃~40℃
濕度:<90% RH
儲存運輸環(huán)境
溫度:- 40℃~60℃