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真空高低溫探針臺(tái):
簡(jiǎn)介:
■ 80K到400K 溫度范圍
■ 高真空腔體,極限真空度10-5pA以下
■ 6個(gè)高真空波紋探針臂
■ 可選直流、脈沖、光脈沖測(cè)量功能
■ 一體式隔振落地支架,高達(dá)98%以上隔振效果
圖片:
規(guī)格:
|
序號(hào) |
配件 |
參數(shù)規(guī)格 |
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1. |
樣品盤 |
12英寸方形樣品盤 樣品盤表面鍍金 電懸空或背柵電極使用 樣品盤漏電精度100fA |
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2. |
屏蔽層 |
6英寸屏蔽層 |
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3. |
視窗 |
60mm高透光視窗 |
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4. |
波紋臂接口 |
6個(gè) |
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5. |
顯微精度 |
5微米 |
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6. |
隔振支架 |
隔振效率大于98% |
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7. |
溫控范圍 |
80K至400K |
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8. |
溫控分辨率 |
10mK |
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9. |
溫控穩(wěn)定度 |
±100mK |
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10. |
溫控回路 |
PID回路 |
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11. |
控制軟件 |
自動(dòng)控制軟件,可實(shí)現(xiàn)程序控溫 可與高精度源表、函數(shù)信號(hào)發(fā)生器等共用 |
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12. |
測(cè)試探針臂 |
XYZ三維位移行程50mmX50mmX25mm 位移精度2微米; |
|
13. |
電流測(cè)量 |
直電壓電流測(cè)量精度100fA |
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14. |
電容測(cè)量精度 |
電壓電容測(cè)量精度10pF |
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15. |
電脈沖測(cè)量 |
快速脈沖測(cè)量精度10nS |
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16. |
光脈沖測(cè)量 |
光脈沖測(cè)量范圍200nm~2000nm |
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17. |
探針熱錨 |
探針、樣品臺(tái)、屏蔽保護(hù)層相互熱錨 |
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18. |
鎢探針 |
針尖5.0/10.0/15.0微米 |




