序號(hào)

配件

參數(shù)規(guī)格

1．

樣品盤

12英寸方形樣品盤

樣品盤表面鍍金

電懸空或背柵電極使用

樣品盤漏電精度100fA

2．

屏蔽層

6英寸屏蔽層

3．

視窗

60mm高透光視窗

4．

波紋臂接口

6個(gè)

5．

顯微精度

5微米

6．

隔振支架

隔振效率大于98%

7．

溫控范圍

80K至400K

8．

溫控分辨率

10mK

9．

溫控穩(wěn)定度

±100mK

10．

溫控回路

PID回路

11．

控制軟件

自動(dòng)控制軟件，可實(shí)現(xiàn)程序控溫

可與高精度源表、函數(shù)信號(hào)發(fā)生器等共用

12．

測(cè)試探針臂

XYZ三維位移行程50mmX50mmX25mm

位移精度2微米；

13．

電流測(cè)量

直電壓電流測(cè)量精度100fA

14．

電容測(cè)量精度

電壓電容測(cè)量精度10pF

15．

電脈沖測(cè)量

快速脈沖測(cè)量精度10nS

16．

光脈沖測(cè)量

光脈沖測(cè)量范圍200nm~2000nm

17.

探針熱錨

探針、樣品臺(tái)、屏蔽保護(hù)層相互熱錨

18.

鎢探針

針尖5.0/10.0/15.0微米