描述

采用全新的一體化設(shè)計，具有優(yōu)異的光學(xué)成像質(zhì)量，造型新穎，使用方便，并具有豐富的擴展功能，可以廣泛應(yīng)用于冶金、半導(dǎo)體、電子等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域。

●  管鏡
PSM-1000的管鏡轉(zhuǎn)盤上裝有1X NUV、1X NIR和2X 管鏡，三組管鏡之間可以根據(jù)需要進行切換，切換簡單、方便。其中1X NUV對355nm和532nm波長進行了優(yōu)化，1X NIR對532nm和1064nm波長進行了優(yōu)化，當(dāng)使用這3個波長的激光器時，可以得到更好的激光透過率。

●  偏光觀察
主體上留有偏光插孔，插上偏光附件(選配件)，可進行偏光觀察。

●  調(diào)焦機構(gòu)
PSM-1000的調(diào)焦機構(gòu)轉(zhuǎn)動舒適，工作可靠。調(diào)焦機構(gòu)*大可承載45磅(20.4Kg)，確保安裝激光器和CCD攝像頭后，仍然能夠正常工作。

●  轉(zhuǎn)換器
PSM-1000采用4孔可調(diào)中轉(zhuǎn)換器，使用隨機配送的調(diào)中鑰匙，可以很方便地調(diào)整物鏡的齊中。

●  物鏡
PSM-1000采用長工作距離的無應(yīng)力平場復(fù)消色差物鏡，提供了優(yōu)異的成像質(zhì)量。關(guān)于物鏡的具體參數(shù)請參照APO物鏡樣本。

●  數(shù)碼攝像系統(tǒng)
根據(jù)所使用的CCD攝像機的CCD尺寸，選擇合適的攝像接頭，安裝在攝像接口上，組成數(shù)碼攝像系統(tǒng)，就可以在電腦、電視或監(jiān)視器上同步觀察。

●  照明系統(tǒng)
采用同軸垂直照明系統(tǒng)，光源采用外置冷光源。長達2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)給PSM-1000帶來更自由的操作空間。

●  探測工作站
PSM-1000的主體部分可以安裝在探測工作站上，進行硅片的測試。

●  激光裝置

PSM-1000的攝像接口處裝有激光**定位銷，雙目頭前留有安裝激光**濾色片的位置，并提供補償墊片。無需專用的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光**濾色片安裝上。

規(guī)格說明

PSM-1000主要技術(shù)參數(shù)