示值范圍(μm)
±5
±10
±25
±50
數(shù)顯分辨率(μm)
0.1
0.2
0.5
1.0
光柱分辨率(μm/燈)
示值總誤差(μm)≤
0.4
2.0
重復(fù)性(μm)≤
示值變動性(μm)≤
初始間隙(μm)
25—60
30—60
40—80
外形尺寸
60㎜(寬)×498㎜(高)×180毫米(深)