微電子業(yè)由于需要高倍率平面顯微技術(shù)支持芯片生產(chǎn)，因此，金相顯微鏡被引入該領(lǐng)域推廣使用并正在不斷的改進(jìn)以滿足行業(yè)的需要。
倒置式金相顯微鏡，由于試樣觀察面向下與工作臺(tái)表面重合，觀察物鏡位于工作臺(tái)的下面，向上觀察，這種觀察形式不受試樣高度的限制，使用方便，儀器結(jié)構(gòu)緊湊，外型美觀大方，儀器底座支承面積大，重心低，目鏡與支承面呈45℃傾斜，觀察舒適。
本儀器除標(biāo)準(zhǔn)配置選擇外，通過技術(shù)提升具有直接的圖像輸出功能，可方便的連接計(jì)算機(jī)根據(jù)工藝要求應(yīng)用軟件進(jìn)行智能化處理。
型號(hào)與規(guī)格
1.大視野目鏡(外徑f23.2 )
倍率
焦距mm
視場(chǎng)mm
10X（可選）
25
20（大視野）
10X
18
16X（可選）
15.6
11
20X（可選）
12
9
2.平場(chǎng)消色差物鏡（金相專用）
數(shù)值孔徑NA
工作距離mm
4X（可選）
0.10
11.73
0.25
8.9
20X
0.40
8.7
40X
0.60
3.7
60X（可選）
0.85
1.40
80X
0.80
0.96
100X（可選）
1.25
0.44
3.總放大倍數(shù)
目鏡 物鏡
25X
60X
100X
100
200
250
400
600
800
1000
16X
160
320
640
960
1280
1600
500
1200
2000