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基于化合物半導體材料高速光開關的研究
摘要高速光開關及光開關陣列是全光交換的核心器件. 首先給出全內(nèi)反射型光波導光開關器件的理論分析模型, 并基于GaAs 材料中的載流子注入效應, 采用GaAs-AlGaAs 雙異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu),研制了工作波長在1.55 μm 的X 結(jié)全內(nèi)反射型和馬赫曾德干涉型兩種結(jié)構(gòu)的光開關. 測試結(jié)果表明, 開關的消光比均超過20 dB, 開關速度達到10 ns 量級.
關鍵詞：光開關，全內(nèi)反射，多模干涉，載流子注入
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