鹵素檢漏儀又稱為鹵素檢測(cè)儀、SF6氣體檢測(cè)儀，能用來檢測(cè)SF6氣體，HFC(R134、R123)／CFC／HCFC致冷劑，鹵素氣體，乙烯，四氯乙烯，三氯乙烯和含有鹵素的大部分其它化合物；是利用鹵族元素探索氣體存在時(shí)，使赤熱鉑電極發(fā)射正離子量增加的原理來制作的檢漏儀。

鹵素檢漏儀是指用含有鹵素(氟、氯、溴、碘)氣體作為示漏氣體的檢漏。該類儀器分兩類：其一為傳感器(即探頭)與被檢件相連接的稱為固定式(也稱內(nèi)探頭式)檢漏儀；其二為傳感器(即吸槍)在被檢件外部搜索的稱為便攜式(也稱外探頭式)檢漏儀。示漏氣體有氟里昂、氯仿、碘仿、四氯化碳等，其中氯里昂屬*好。靈敏度可達(dá)3.2×lO-9Pam3／s。
金屬鉑在800～900oC溫度下會(huì)發(fā)生正離子發(fā)射，當(dāng)遇到鹵素氣體時(shí)，這種發(fā)射會(huì)急劇增加。這就是所謂的“鹵素效應(yīng)”，利用此效應(yīng)制成了鹵素檢漏儀。
傳感器是個(gè)二極管，加熱絲、陰極(外筒)、陽極(內(nèi)筒)均用鉑材制成。陽極被加熱絲加熱后發(fā)射正離子，被陰極接收的離子流由檢流計(jì)(或放大器)指示出來，且有音響指示。電氣部分由加熱電源、直流電源、離子流放大器、輸出顯示及便攜式的吸氣裝置電源等組成。