產(chǎn)品特性
采用白光共聚焦色差技術，可獲得納米級的分辨率
測量具有非破壞性，測量速度快，精度高
測量范圍廣，可測透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)；
尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面
不受樣品反射率的影響
不受環(huán)境光的影響
Z方向,測量范圍大：為27mm
掃描范圍：25×25（mm）
掃描步長：0.1μm
掃描速度：20mm/s
Z方向測量范圍：27mm
Z方向測量分辨率：3nm
產(chǎn)品應用
MEMS、半導體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學元件、陶瓷和先進材料的研發(fā)。