• 高效能：EBARA分子泵能夠提供極高的抽氣速度和極低的極限壓力，滿足各種高真空應(yīng)用的需求。
• 穩(wěn)定性好：分子泵的工作原理基于動(dòng)量交換，不依賴潤(rùn)滑油和密封件，因此運(yùn)行穩(wěn)定，故障率低。
• 潔凈度高：分子泵內(nèi)部無(wú)潤(rùn)滑油，不會(huì)產(chǎn)生油蒸氣等污染物，適用于對(duì)潔凈度要求高的環(huán)境。
• 耐高溫：EBARA分子泵能夠在高溫環(huán)境下正常工作，滿足一些特殊應(yīng)用的需求。
• 節(jié)能環(huán)保：相比其他類(lèi)型的真空泵，分子泵的能耗更低，且運(yùn)行過(guò)程中不產(chǎn)生污染，符合節(jié)能環(huán)保的要求。

缺點(diǎn)：

• 成本較高：由于分子泵采用了先進(jìn)的技術(shù)和材料，制造成本相對(duì)較高，因此價(jià)格較貴。
• 維修困難：分子泵的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，一旦出現(xiàn)故障，需要專(zhuān)業(yè)的技術(shù)人員進(jìn)行維修，且維修成本也較高。
• 對(duì)氣體種類(lèi)敏感：分子泵對(duì)不同氣體的抽氣效果有所差異，對(duì)于某些特定氣體可能效果不佳。
• 噪音較大：雖然分子泵在運(yùn)行時(shí)不會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)和污染，但由于其工作原理，可能會(huì)產(chǎn)生一定的噪音。