精度高達(dá)+/-0.1氣泡分位
V-溝底部與V-溝的平行度在2.5UM之內(nèi)
水平尺的底邊的平度均在0.003氣泡分位之間
V-溝的精度亦在0.7氣泡分位
90度直角之精度在0.01mm之內(nèi)，達(dá)到日本JIS標(biāo)準(zhǔn)
大?。╩m）
敏感度（每米）
大小（mm）
100
0.02（4秒）
150
200
250
300
450