其中專業(yè)生產(chǎn)的用于滿足半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中對(duì)生產(chǎn)用氣中顆粒去除??蛻舭↖ntel、Samsung 和 Motorola。 Mott 研究人員*早分析用金屬替代膜式的可行性,這是一個(gè)非常有誘惑力的研究。*終Mott金屬過(guò)濾器達(dá)到了高效率、高強(qiáng)度的要求,并由于壽命大大延長(zhǎng)而進(jìn)一步降低了成本。而且,Mott還消除了頻繁更換過(guò)濾所需的人工成本和停機(jī)成本。 1994年,Mott 率先提出了使用點(diǎn)(POU)過(guò)濾系統(tǒng)5年品質(zhì)保證的承諾,向半導(dǎo)體行業(yè)展示了它的自信。其后不久,Mott又提出了大容量過(guò)濾器15年品質(zhì)保證的承諾。Mott仍然在不斷創(chuàng)新,例如GasShield PENTA 系列降低了金屬過(guò)濾器的壓差,樹(shù)立了多孔金屬性能的另一個(gè)里程碑。
現(xiàn)在 Mott 在高純氣體領(lǐng)域有以下系列的產(chǎn)品:
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