課題形成了有關SIMS和TOF串聯(lián)質譜的新技術、新產(chǎn)品、新裝置和計算機軟件等共19項成果，其中5項已在相關領域成功應用，冷陰極雙等離子氣體源工藝研究等具有**性。申請國內發(fā)明**24項、國際發(fā)明**6項。發(fā)表論文29篇，其中國際刊物發(fā)表5篇。

通過該課題的實施，新建和完善了5個質譜儀器關鍵部件研發(fā)基地和10多個研究試驗平臺，培養(yǎng)了一批優(yōu)良的質譜儀器研發(fā)人員，凝聚和造就了一支研發(fā)隊伍，為今后大型**質譜儀器的自主研發(fā)奠定了基礎。

地質所北京離子探針中心在課題中完成了任務書規(guī)定的大型質譜儀器研發(fā)綜合平臺、離子源研發(fā)試驗平臺和自動換樣及三維微聚焦系統(tǒng)試驗平臺的搭建，一次氣體離子源、自動換樣系統(tǒng)和三維微聚焦系統(tǒng)以及相應的供電和自動控制系統(tǒng)的研發(fā)。