福祿克流量檢驗(yàn)儀

主要特點(diǎn)

·嚴(yán)格符合證明的氣體定律

·先進(jìn)的壓力和溫度測(cè)量技術(shù)

·出眾的長(zhǎng)期穩(wěn)定性

·出眾的量程范圍比

·連續(xù)、實(shí)時(shí)的讀數(shù)

·支持多種氣體

·先進(jìn)的隨機(jī)自帶功能

·計(jì)算機(jī)輔助自動(dòng)校準(zhǔn)

·從簡(jiǎn)單的參考流量計(jì)到完整的校

福祿克流量檢驗(yàn)儀

概述

   福祿克DHI的流量校驗(yàn)儀molbloc/ molbox是專門針對(duì)氣體微小流量應(yīng)用的流量校準(zhǔn)系統(tǒng)。molbloc/molbox 流量校準(zhǔn)系統(tǒng)基于一項(xiàng)擁有**的新型氣體層流測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)，采用了現(xiàn)代化的測(cè)量、數(shù)學(xué)模型，數(shù)據(jù)處理和制造工藝。molbloc/molbox為氣體流量標(biāo)準(zhǔn)的性能和便利性建立了新的標(biāo)準(zhǔn)。molbloc/molbox已經(jīng)被各個(gè)領(lǐng)域廣泛接受和認(rèn)可——半導(dǎo)體、光纖、醫(yī)藥、環(huán)境監(jiān)測(cè)、發(fā)電、參考?xì)怏w配方、研究和標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室，被作為參考來(lái)保證氣體流量測(cè)量的完整性。

   molbloc/molbox覆蓋了從小到1 sccm到100 slm以上的流量范圍，對(duì)各種氣體的準(zhǔn)確度可達(dá)到讀數(shù)的± 0.2 %。其1秒的刷新率使得根據(jù)真正的流量標(biāo)準(zhǔn)對(duì)測(cè)量和測(cè)試儀器進(jìn)行實(shí)時(shí)調(diào)整**次成為了可能。molbloc/molbox結(jié)構(gòu)緊湊，易于搬運(yùn)，可利用全功能前面板本地操作，或者通過(guò)其RS232和IEEE-488接口進(jìn)行遠(yuǎn)程操作。

   molbloc/molbox的配置和附件可支持各種氣體流量的測(cè)試和測(cè)量。molbloc/molbox可被集成到系統(tǒng)中對(duì)過(guò)程儀器進(jìn)行在線檢查，其便于搬運(yùn)的特性使其可作為現(xiàn)場(chǎng)審計(jì)或檢查標(biāo)準(zhǔn)，以及配以附件來(lái)建立完整的自動(dòng)氣體流量校準(zhǔn)臺(tái)。molbloc/molbox系統(tǒng)可測(cè)試和校準(zhǔn)各種各樣的流量裝置，包括MFC質(zhì)量流量控制器、轉(zhuǎn)子流量計(jì)、氣體渦輪流量計(jì)，等等。

計(jì)算機(jī)輔助自動(dòng)校準(zhǔn)

    COMPASS for molbox校準(zhǔn)輔助軟件使molbloc/molbox的自動(dòng)校準(zhǔn)提升到了新臺(tái)階。COMPASS for molbox和一臺(tái)連接了molbloc/molbox的個(gè)人計(jì)算機(jī)可形成一套現(xiàn)代化全功能的流量裝置校準(zhǔn)和測(cè)試的交鑰匙系統(tǒng)。

   COMPASS可設(shè)置被測(cè)設(shè)備（DUT）的記錄、定義并關(guān)聯(lián)DUT的測(cè)試方法、運(yùn)行測(cè)試、采集參考和測(cè)試數(shù)據(jù)、生成標(biāo)準(zhǔn)和自定義的校準(zhǔn)報(bào)告。所有的參考數(shù)據(jù)、DUT和測(cè)試數(shù)據(jù)都是以標(biāo)準(zhǔn)的符號(hào)分隔文件格式采集和儲(chǔ)存的，可方便地下載到其它應(yīng)用程序。

    COMPASS的功能遠(yuǎn)多于簡(jiǎn)單的數(shù)據(jù)采集和作為測(cè)試順序工具，它也包括專門的數(shù)據(jù)減縮功能，可支持隨流量設(shè)備而定的壓力和溫度，例如轉(zhuǎn)子流量計(jì)、渦輪流量計(jì)和體積流量計(jì)。

從簡(jiǎn)單的參考流量計(jì)到完整的校準(zhǔn)系統(tǒng)

   有兩種molbox型號(hào)和各種附件可供選擇，molbloc/molbox所提供的**測(cè)量能力可適應(yīng)從簡(jiǎn)單的參考流量計(jì)到交鑰匙式自動(dòng)校準(zhǔn)系統(tǒng)的各種應(yīng)用。 molbox RFM和一個(gè)molbloc可配置成簡(jiǎn)單、成本相對(duì)較低的參考流量計(jì)，其在 1％～100％滿量程范圍內(nèi)的測(cè)量不確定度可達(dá)到讀數(shù)的±0.5%；用molbox1、 MFC選項(xiàng)、Molstic安裝臺(tái)和COMPASS 軟件可組成一套交鑰匙式的全自動(dòng)質(zhì)量流量校準(zhǔn)系統(tǒng)。

福祿克流量檢驗(yàn)儀