合作企業(yè)對于半導(dǎo)體某個部件的槽深做一個3D形貌測量，上海曼戈斐光學(xué)采用μsurf系列expert共聚焦顯微鏡全程測量。μsurf expert共聚焦顯微鏡實驗室非接觸性測量系統(tǒng)是一套完全為測試以及實驗設(shè)備的開發(fā)而優(yōu)化的系統(tǒng)，滿足非接觸性測量行業(yè)內(nèi)高的要求。

測量系統(tǒng)配備有高精度的傳感器，與位于x,y,z軸向的線性編碼器以及諸多的自動化選項，usurf expert共聚焦顯微鏡提供**別的操作舒適感，這一切都?xì)w功于手動的z軸調(diào)節(jié)以及**的人體工學(xué)設(shè)計。