近年來，一股石墨烯旋風(fēng)在全球掀起了，越來越多的企業(yè)和科研單位開始致力于石墨烯材料的制備和測試，檢測石墨烯的形貌結(jié)構(gòu)顯得尤為重要我們發(fā)現(xiàn),三維共聚焦顯微鏡既用來觀察樣品表面亞μm程度的三維形態(tài)和形貌，又可以測量多種微小的尺寸，諸如體積、面積、晶粒、膜厚、深度、長寬、線粗糙度、面粗糙度等等。而且測試方便快捷，不損壞樣品，實(shí)際利用中比掃描電鏡、原子力顯微鏡更加適用。***泰州石墨烯研究檢測火炬平臺(tái)的多名專家指出，三維共聚焦顯微鏡可以輕松檢測通過PMMA轉(zhuǎn)移的石墨烯（檢測PMMA殘留）、通過PET轉(zhuǎn)移的石墨烯、銅基石墨烯的三維形貌等等，在石墨烯領(lǐng)域內(nèi)已經(jīng)開始了廣泛有效的應(yīng)用。

上海曼戈斐光學(xué)所代理的德國NanoFocus的三維共聚焦顯微鏡（μsurf系列產(chǎn)品）機(jī)臺(tái)功能齊全，結(jié)構(gòu)緊湊，性價(jià)比高，并擁有超高光學(xué)分辨率和***廣泛的三維表面形貌分析能力，成為了國內(nèi)眾多石墨烯用戶的優(yōu)選。該設(shè)備采用多孔共聚焦**技術(shù)，結(jié)合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動(dòng)，以類似斷層攝影方式，可在短時(shí)間(約幾秒)內(nèi)**量測物體的三維數(shù)據(jù)。其測量方式是非接觸式的無損表征，不會(huì)破壞樣品的表面，不需要在真空環(huán)境下測量及樣品前期制備，僅需5~10秒即可完成測量；也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本，其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測量漸變較大的高度時(shí)，跟其他方法相比，可以更**量測物體高度，建立3D立體影像，優(yōu)勢相當(dāng)明顯。