精準(zhǔn)的粗糙度輪廓曲線(xiàn)是NanoFocus共聚焦測(cè)量技術(shù)的核心。在工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域，兼容符合標(biāo)準(zhǔn)的接觸式粗糙度測(cè)量方式非常重要。

眾多的科學(xué)和工業(yè)研究清楚地表明，NanoFocus系統(tǒng)完全滿(mǎn)足*高標(biāo)準(zhǔn)，并可與接觸式粗糙度儀等技術(shù)無(wú)任何沖突匹配使用。NanoFocus設(shè)備的校準(zhǔn)基于接觸式粗糙度測(cè)量技術(shù)的認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)。輪廓和表面數(shù)據(jù)符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-例如ISO 25718.

光學(xué)共聚焦技術(shù)在微米和納米級(jí)的表面形貌技術(shù)領(lǐng)域擁有諸多優(yōu)勢(shì)。與掃描電子顯微鏡不同，共聚焦表面測(cè)量能提供真實(shí)的表面三維信息（x,y,z），這種定量信息使得**的3D參數(shù)得以提取，并使進(jìn)一步的處理和分析成為可能。此外，無(wú)需樣品制備。與原子力顯微鏡相比，光學(xué)顯微鏡有幾個(gè)明顯的優(yōu)勢(shì)，例如更大的測(cè)量范圍，更快的速度，非接觸式操作等。SEM和AFM相較于光學(xué)顯微鏡的水平分辨率優(yōu)勢(shì)在很多應(yīng)用中被證明并非實(shí)際需要。