NanoFocus μsurf explorer共聚焦顯微鏡采用多孔共聚焦技術(shù)，結(jié)合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測(cè)器的孔洞，再將物鏡垂直移動(dòng)，以類似斷層攝影方式，可在短時(shí)間(約幾秒)內(nèi)**量測(cè)物體的三維數(shù)據(jù)。其測(cè)量方式是非接觸式，不會(huì)破壞樣品的表面，不需要在真空環(huán)境下測(cè)量，也可以用共聚焦顯微鏡測(cè)量的功能來觀測(cè)樣本，其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下，也能正常使用。

以下為NanoFocus μsurf explorer共聚焦顯微鏡部分樣品檢測(cè)效果圖：