MKS 真空計(jì)946
上海胤旭機(jī)電設(shè)備有限公司簡(jiǎn)介
上海胤旭機(jī)電設(shè)備有限公司，成立于2001年，并且在德國(guó)成立分公司。由于我司和國(guó)外的多年合作，和國(guó)外的很多生產(chǎn)廠建立了合作關(guān)系，所以近兩年開(kāi)展了歐洲工業(yè)品備件的貿(mào)易平臺(tái)供應(yīng)采購(gòu)業(yè)務(wù)，
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MKS 946真空測(cè)量與控制系統(tǒng)
MKS 946是一種通用的真空計(jì)的測(cè)量和控制系統(tǒng)，可控制6個(gè)不同的真空計(jì)或質(zhì)量流量控制器(MFC)，提供電源并同時(shí)讀出，可用于控制壓力的選擇。
946這種高靈活性的真空系統(tǒng)控制器支持MKS電容壓力計(jì)，冷陰極，熱陰極，從超高真空到大氣以上的測(cè)量范圍真空計(jì)。此外，946系列控制器還可監(jiān)測(cè)與控制MKS 的G系列、P系列、I系列和傳統(tǒng)的質(zhì)量流量控制器，以及MKS壓力控制閥門(mén)(排氣節(jié)流閥)。
MKS 真空計(jì)946特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)
同步控制與讀出6個(gè)真空計(jì)或質(zhì)量流量控制器(MFC)
壓力讀數(shù)可從10000至10-11Torr
可同時(shí)支持MKS閥門(mén)壓力控制回路，減少了對(duì)壓力控制單獨(dú)的電子產(chǎn)品的需求
RS232/485計(jì)算機(jī)的控制標(biāo)準(zhǔn)，在所有的系統(tǒng)中集成方便
可使用多個(gè)質(zhì)量流量控制器進(jìn)行流量比值控制
包括12個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器，系統(tǒng)控制有很大的靈活性
MKS 真空計(jì)946技術(shù)參數(shù)：
顯示：320*240的彩色QVGA TFT LCD背光、6通道的壓力與流量顯示、設(shè)定點(diǎn)單元顯示指標(biāo)、PID控制狀態(tài)和閥位。
兼容傳感器：MKS電容式壓力計(jì)、電容式差壓計(jì)提供0-10V的輸出，MKS真空計(jì)系列、皮拉尼傳感器、冷陰極傳感器、裸規(guī)與MIG類(lèi)型。
兼容質(zhì)量流量控制器：MKS G系列、I系列與P系列等MKS傳統(tǒng)型質(zhì)量流量控制器。
兼容壓力控制閥：MKS 248A、148J、154A(電磁控制閥)、153D和T3Bi。
壓力測(cè)量范圍：10000Torr至10-11Torr
壓力單位：Pa、mbar、Torr
流量單位：sccm、slm
工作溫度：5-40℃
電源要求：150W，100-240V 50/60Hz
認(rèn)證：CE、EMC
重量：3.6Kg
真空測(cè)量與控制系統(tǒng)
MKS 真空計(jì)946是一種通用的真空計(jì)的測(cè)量和控制系統(tǒng)，可控制6個(gè)不同的真空計(jì)或質(zhì)量流量控制器(MFC)，提供電源并同時(shí)讀出，可用于控制壓力的選擇。
946這種高靈活性的真空系統(tǒng)控制器支持MKS電容壓力計(jì)，冷陰極，熱陰極，從超高真空到大氣以上的測(cè)量范圍真空計(jì)。此外，946系列控制器還可監(jiān)測(cè)與控制MKS 的G系列、P系列、I系列和傳統(tǒng)的質(zhì)量流量控制器，以及MKS壓力控制閥門(mén)(排氣節(jié)流閥)。
MKS 真空計(jì)946特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)
同步控制與讀出6個(gè)真空計(jì)或質(zhì)量流量控制器(MFC)
壓力讀數(shù)可從10000至10-11Torr
可同時(shí)支持MKS閥門(mén)壓力控制回路，減少了對(duì)壓力控制單獨(dú)的電子產(chǎn)品的需求
RS232/485計(jì)算機(jī)的控制標(biāo)準(zhǔn)，在所有的系統(tǒng)中集成方便
可使用多個(gè)質(zhì)量流量控制器進(jìn)行流量比值控制
包括12個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器，系統(tǒng)控制有很大的靈活性
MKS 真空計(jì)946技術(shù)參數(shù)：
顯示：320*240的彩色QVGA TFT LCD背光、6通道的壓力與流量顯示、設(shè)定點(diǎn)單元顯示指標(biāo)、PID控制狀態(tài)和閥位。
兼容傳感器：MKS電容式壓力計(jì)、電容式差壓計(jì)提供0-10V的輸出，MKS真空計(jì)系列、皮拉尼傳感器、冷陰極傳感器、裸規(guī)與MIG類(lèi)型。
兼容質(zhì)量流量控制器：MKS G系列、I系列與P系列等MKS傳統(tǒng)型質(zhì)量流量控制器。
兼容壓力控制閥：MKS 248A、148J、154A(電磁控制閥)、153D和T3Bi。
壓力測(cè)量范圍：10000Torr至10-11Torr
壓力單位：Pa、mbar、Torr
流量單位：sccm、slm
工作溫度：5-40℃
電源要求：150W，100-240V 50/60Hz
認(rèn)證：CE、EMC
重量：3.6Kg
MKS 946控制器訂購(gòu)資料：
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控制器
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國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
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卡槽A
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卡槽B
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卡槽C
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通訊/壓力控制槽
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訂購(gòu)代碼
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訂購(gòu)代碼
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訂購(gòu)代碼
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訂購(gòu)代碼
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訂購(gòu)代碼
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訂購(gòu)代碼
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946
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US
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CC/CL
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CC/CL
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CC/CL
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NA
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JP
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冷陰極
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冷陰極
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冷陰極
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空白
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EU
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CT
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CT
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CT
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PC
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UK
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雙對(duì)流皮拉尼/標(biāo)準(zhǔn)皮拉尼
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雙對(duì)流皮拉尼/標(biāo)準(zhǔn)皮拉尼
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雙對(duì)流皮拉尼/標(biāo)準(zhǔn)皮拉尼
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壓力控制
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CA
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CM
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CM
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CM
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雙電容壓力計(jì)/差壓計(jì)
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雙電容壓力計(jì)/差壓計(jì)
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雙電容壓力計(jì)/差壓計(jì)
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HC
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HC
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HC
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熱陰極LPN/MIG
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熱陰極LPN/MIG
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熱陰極LPN/MIG
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FC
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FC
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FC
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MFC
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MFC
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MFC
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NA
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NA
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NA
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- 溫馨提示：為規(guī)避購(gòu)買(mǎi)風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購(gòu)買(mǎi)前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)與產(chǎn)品質(zhì)量。
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