AALBORG電子式流量控制器\熱式質(zhì)量流量控制器

ALBORG是世界上有名的氣體質(zhì)量流量計/控制器的生產(chǎn)廠家，其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、 材料科學(xué) 、石油化工、醫(yī)藥、環(huán)保等領(lǐng)域。

美國ALBORG公司成立于1972年,是國際上有名的生產(chǎn)精密流量計及控制儀表的公司。Aalborg公司生產(chǎn)的轉(zhuǎn)子流量計和熱式質(zhì)量流量控制器目前已經(jīng)成為經(jīng)濟高效型流量測量及控制產(chǎn)品的代表

ALBORG設(shè)計出了鋁,不銹鋼,銅,和PTFE材料的流量計,尤其是轉(zhuǎn)子流量計從微流量到工業(yè)級的范圍,熱式質(zhì)量流量控制器現(xiàn)場顯示以及電子式流量控制器在各種氣體和液體中都具有典型的應(yīng)用特點。

美國AALBORG主要產(chǎn)品：氣體質(zhì)量流量計,轉(zhuǎn)子流量計、熱式質(zhì)量流量控制器、電子式流量控制器、

AALBORG產(chǎn)品特點：性價比高、響應(yīng)速度快、可靠性高，易于集成、環(huán)路保護、備總量計數(shù)器

典型應(yīng)用：CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。

AALBORG轉(zhuǎn)子流量計

AALBORG轉(zhuǎn)子流量計產(chǎn)品描述：

設(shè)計特點：
－剛性金屬結(jié)構(gòu)
－流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm
－*大壓力500psig（34.5Bar）
－泄漏率1＊10-7氦氣
－NIST系統(tǒng)標(biāo)定可追蹤的證明
－可傾斜的LCD讀表
－0-5Vdc或4-20mA信號輸出
－電路保護
－可用作便攜式的設(shè)備
－0到100％比例顯示
－可配備流量計算機

AALBORG熱式質(zhì)量流量控制器
AALBORG熱式質(zhì)量流量控制器數(shù)據(jù)：
精度：±1.5％滿量程，包括59℉到77℉的氣體溫度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的壓力。可選±1％滿量程（標(biāo)定精度），在給定的溫度與壓力值條件下。
重復(fù)性：±0.5％滿量程
回應(yīng)時間：實際流速±2％超過滿量程25-100％一般2秒
溫度系數(shù)：0.15％滿量程／℃
壓力系數(shù)：0.01％滿量程／psi（0.07bar）
氣體／周圍溫度：32℉-122℉（5℃-50℃）
輸出信號：0-5Vdc，*小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻
傳感器輸出：＋12Vdc；*大200Ω。＋24Vdc可選
時間恒量：800ms
AALBORG轉(zhuǎn)子流量計
AALBORG轉(zhuǎn)子流量計產(chǎn)品數(shù)據(jù)：
氣體壓力：*大1000psig（70bar）?？蛇x20psig（1.4bar）
流體接觸面材質(zhì)：A：GFC鋁系列為陽極電鍍鋁、316不銹鋼、銅和氟橡膠圓環(huán)
B：GFC17S，37S，47S，57S，67S，77S不銹鋼系列：316不銹鋼、氟橡膠圓環(huán)可選氯丁橡膠圓環(huán)。
方位靈敏度：水平到垂直旋轉(zhuǎn)低于15度；標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)是在水平位置
連接：GFC17和37：1／4"卡套螺紋VCR®或1／8"卡套可選（GFC17）
GFC47：3／8"卡套螺紋
GFC57：3／8"卡套螺紋
GFC67：1／2"卡套螺紋
GFC77：3／4"卡套螺紋
VCR®或3／4"卡套可選（GFC77）

 AALBORG轉(zhuǎn)子流量計\控制器產(chǎn)品型號：

 美國AALBORG主要產(chǎn)品：氣體質(zhì)量流量計,轉(zhuǎn)子流量計、熱式質(zhì)量流量控制器、電子式流量控制器、

 AALBORG電子式流量控制器\熱式質(zhì)量流量控制器

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