半導(dǎo)體工業(yè)需要大量的超純水，隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，對超純水水質(zhì)的要求日趨嚴格。
上海市生態(tài)環(huán)境局近期發(fā)布《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標準》。
上海市地方污染物排放標準目錄
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序號
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標準號
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標準名稱
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被修訂標準號
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發(fā)布日期
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實施日期
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1
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DB31/374-2024
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半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標準
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DB31/374-2006
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2024年2月29日
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2024年5月1日
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注：以上標準可登陸上海市生態(tài)環(huán)境局網(wǎng)站（https://sthj.sh.gov.cn）查詢。
水方面，標準設(shè)置了21項水污染物控制項目。
其中，二類污染物14項，增加了石油類、總氮、總磷、陰離子表面活性劑4項常規(guī)因子及總鋅特征因子，刪除了BOD5。
這些水質(zhì)污染物，HACH哈希水質(zhì)分析儀DR6000哈希多參數(shù)儀都可以檢測。
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