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產(chǎn)品名稱：PBZ-CL007V邊緣檢測傳感器
產(chǎn)品型號：PBZ-CL007V
產(chǎn)品展商：其它品牌
產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔

簡單介紹

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產(chǎn)品描述

azbil PBZ-CL007V邊緣檢測傳感器,azbil PBZ-CL007V邊緣檢測傳感器,azbil PBZ-CL007V邊緣檢測傳感器
概要PBZ激光傳感器采用平行激光束和一個CMOS線性圖像傳感器專長檢測薄膜、晶圓或玻璃基板的邊緣位置。

FDN算法
高精度的邊緣檢測*1
針對檢測面污垢會影響檢測精度的課題，配置了線性圖像傳感器和光量衰減報(bào)警功能。
透明物體檢測用算法
可穩(wěn)定檢測透明物體。
標(biāo)準(zhǔn)雙通道輸入控制器
可進(jìn)行雙檢測值運(yùn)算，減少布線工作量，節(jié)省空間。
RS-485通信(僅對應(yīng)PBC-201VN2/PBC-203VN2) 可將數(shù)據(jù)傳輸至PLC及觸摸界面。
**性能
JIS 1級光束。不需要任何特別保護(hù)措施。
多功能
可忽略薄膜不規(guī)則部分的干擾消除功能*2
玻璃基板對準(zhǔn)時傾斜度θ計(jì)算功能*3
通過位置變化檢測功能可檢測出玻璃基板上的缺口和裂痕*3

*1. 重復(fù)精度：PBZ-CL007V：±1 μmax.，PBZ-CL030H/V：±5 μmax.
*2. **于 PBC-201VN0/2
*3. **于 PBC-203VN2

測定內(nèi)容

控制器型號	邊緣位置測定 (透明體或不透明體)	遮光寬度測定	間隙測定
7 mm傳感器頭用PBC-201VN0	○	―	―
7 mm傳感器頭用PBC-201VN2	○	○	○
30 mm傳感器頭用PPBC-203VN2	○	―	―

重復(fù)精度 ±1 μm* — 準(zhǔn)確檢測出真實(shí)的邊緣位置

FDN算法是一種對于任意的工作距離(WD)都能準(zhǔn)確地計(jì)算出真實(shí)的邊緣位置的算法。

*PBZ-CL007V的重復(fù)精度為±1 μm，PBZ-CL030H/V的重復(fù)精度為±5 μ。檢測條件請參照規(guī)格。

菲涅爾衍射
光射在刀片或薄膜等薄型物體邊緣處會發(fā)生衍射。受光部衍射光的強(qiáng)度分布取決于受光器與薄型物體之間的距離(WD)。

不受檢測面污垢引起的受光光量衰減的影響

受光單元采用線性圖像傳感方式，不受檢測面污垢的影響，實(shí)現(xiàn)高精度的檢測。并且，
配置了“光強(qiáng)度衰減報(bào)警功能”，到了維修時期便會發(fā)出警報(bào)。

傳統(tǒng)方式(PD)
因遮光引起受光量的減少，使PD的線性輸出發(fā)生變化。這種傳統(tǒng)的PD方式，由于受光面污垢（或檢測物透明度）造成受光光量衰減，使輸出值發(fā)生變化。所以，為了防止污垢，需要進(jìn)行空氣吹掃。
本公司的線性圖像傳感方式
根據(jù)各像素的亮度信息，測出遮光寬度。即使受光光量衰減，只要線性圖像傳感器的入光量不變，邊緣位置的輸出值就不會變化。

干擾消除功能

不檢測標(biāo)簽等凸起物，只檢測薄膜的邊緣。
將當(dāng)前的測定值與設(shè)定時間（輸出延遲時間）前的數(shù)值進(jìn)行比較，如果變化量超過了設(shè)定值（跳讀設(shè)定值），則保持變化前的數(shù)值并將其模擬輸出。

θ演算功能

根據(jù)玻璃邊緣的位置變化，演算傾斜度θ后輸出。測量范圍：±3°。

缺口檢測功能（位置變化輸出）

設(shè)定位置變化時間(T)和位置變化量(L)，如果變化量超過設(shè)定的傾斜度，進(jìn)行數(shù)字(DO)輸出。

應(yīng)用

檢測晶圓的偏芯和缺口位置
能夠穩(wěn)定檢測透明度高的玻璃晶圓或砷化鎵晶圓。并且，由于采用了線性圖像傳感方式，因此還能越過視孔進(jìn)行檢測。

檢測薄膜蜷曲
通過使用2對傳感器探頭計(jì)算傳感器探頭間的輸出值，可同時檢測薄膜蜷曲和薄膜寬度。

檢測薄膜和薄片厚度

檢測玻璃基板凹凸和裂痕
利用位置變化檢測功能，可檢測到傳送帶上的玻璃基板邊緣的缺口和裂痕。

測定玻璃基板的XYθ
利用3對傳感器，除了能計(jì)算玻璃基板的X和Y值外，還能通過內(nèi)部演算計(jì)算出θ值。

規(guī)格

	平行激光束類型
	傳感器	控制器		傳感器		控制器
型號	PBZ-CL007V	PBC-201VN0	PBC-201VN2	PBZ-CL030H	PBZ-CL030V	PBC-203VN2
檢測寬度	7 mm			30 mm
測定距離	10 - 300 mm			10 - 500 mm
工作距離(WD)	10 - 290 mm			10 - 490 mm
移動精度	±20 μm 大1			±50 μm 大3
重復(fù)精度	±1 μm 大2			±5 μm 大4
模擬輸出更新周期	―	500 μs		―		10 ms
傳感部溫度特性	0.1 % FS/°C	―		0.1 % FS/°C		―
使用溫度范圍	0 - 45°C
使用濕度范圍	30 - 85 % RH
電源電壓	―	24 Vdc ± 10 %		―		24 Vdc ± 10 %
模擬輸出	―	1 to 5 Vdc 或 ±5 V: 2 輸出		―		1 to 5 Vdc 或 ±5 V: 2 輸出
事件輸出	―	同步型晶體管輸出：4 點(diǎn)		―		同步型晶體管輸出：4 點(diǎn)
外部輸入	―	2		―		2
數(shù)字顯示	―	7段4位		―		7段4位
光源	可視半導(dǎo)體激光: JIS 1級	―		可視半導(dǎo)體激光: JIS 1級		―
保護(hù)結(jié)構(gòu)	IP40	―		IP40		―
通信	―	―	RS-485	―		RS-485
傳感器探頭與控制器間的纜線總長度	*大 5 m			*大 30 m

上述規(guī)格是檢測物體和邊緣方向被設(shè)定為“不透明體TOP”或“不透明體BOTTOM”時的數(shù)據(jù)。其他設(shè)定時，請與本公司聯(lián)系。

*1. 投受光器間距離=20 mm，工作距離=10 mm，檢測物位置=從測定寬度中心位置移動±0.5 mm時。
*2. 投受光器間距離=20 mm，工作距離=10 mm，檢測物位置=從測定寬度中心位置移動±3.5 mm的條件下，重復(fù)20次的平均值。
*3. 投受光器間距離=100 mm，工作距離=50 mm，檢測物位置=從測定寬度中心位置移動±0.5 mm時。
*4. 投受光器間距離=20 mm，工作距離=10 mm，檢測物位置=從測定寬度中心位置移動±15 mm的條件下，重復(fù)20次的平均值。
工作距離(WD): 受光器與檢測物之間的距離

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PBZ-CL007V邊緣檢測傳感器