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技術(shù)文章

美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209E中的潔凈等級(jí)

美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209E中的潔凈等級(jí)

美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209E中的潔凈等級(jí)

等級(jí)名稱(chēng)

等級(jí)限值

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

5μm

容積單位

容積單位

容積單位

容積單位

容積單位

國(guó)際單位

英制

單位

m3

Ft3

m3

Ft3

m3

Ft3

m3

Ft3

m3

Ft3

M1.0

 

350

9.91

75.7

2.14

30.9

0.875

10

0.283