1.潔凈環(huán)境供應(yīng)系統(tǒng)
此系統(tǒng)供應(yīng)潔凈室所需的無塵潔凈空氣，并**控制其微塵，靜壓，溫度與相對(duì)濕度，由于潔凈室為一很大的開放空間(BallRoom)，其中又放有許多的生產(chǎn)設(shè)備，因此要將整個(gè)潔凈室控制在非常高等級(jí)，非常穩(wěn)定的環(huán)境之下供應(yīng)生產(chǎn)，需要很高的技術(shù)層次才能做到，潔凈環(huán)境供應(yīng)系統(tǒng)可分為下列三大子系統(tǒng)：
1.1補(bǔ)充空氣系統(tǒng)(Make Up Air， MUA)
     補(bǔ)充潔凈室內(nèi)因制程所需抽排掉及自然外泄的空氣，同時(shí)調(diào)節(jié)潔凈室內(nèi)的靜壓，并做**階段的空氣濾凈，調(diào)溫與調(diào)濕。
1.2循環(huán)空氣系統(tǒng)(ReCirculation Air， RCA)
     將潔凈室內(nèi)之空氣不斷循環(huán)濾凈，以保持空氣潔凈品質(zhì)并做**階段的溫度調(diào)節(jié)。
1.3廢氣排放系統(tǒng)(Exhaust System)
     將生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的有害有毒廢氣經(jīng)由抽氣除毒裝置將廢氣凈化后排到大氣、廢氣排放系統(tǒng)又可分為下列四大系統(tǒng)：
         1)一般廢氣：廢熱、機(jī)器外罩等無毒的廢氣排放
         2)廢溶劑：揮發(fā)性的廢溶劑經(jīng)由活性碳吸附或高溫燃燒處理后排放
         3)酸廢氣：帶酸性的廢氣經(jīng)由堿性濕式洗滌塔中和處理后排放
         4)堿廢氣：帶堿性的廢氣經(jīng)由酸性濕式洗滌塔中和處理后排放

2.高潔凈度內(nèi)裝系統(tǒng)
由于潔凈室對(duì)微塵的要求非常嚴(yán)苛，因此任何在潔凈室內(nèi)的內(nèi)裝材料必須是不會(huì)產(chǎn)生微塵的材質(zhì)，又因?yàn)闈崈羰覂?nèi)相對(duì)濕度較低容易產(chǎn)生靜電累積微塵，因此所有材料亦需要導(dǎo)電材質(zhì)以避免靜電的累積，高潔凈度內(nèi)裝系統(tǒng)包含三大主要部份：
2.1濾網(wǎng)天花
      由超潔凈空氣濾清網(wǎng)所構(gòu)成，為潔凈室微塵控制*主要的一道防線
2.2導(dǎo)電隔間
      隔離所有生產(chǎn)微塵的來源，如外墻，設(shè)備維修區(qū)，并導(dǎo)掉累積微塵的靜電
2.3導(dǎo)電高架地板
       由穿孔與不穿孔的地板組成，主要作用在于形成潔凈室氣流的模式以避免擾流發(fā)生。