按照其制造工藝,可以將傳感器區(qū)分為:
集成傳感器薄膜傳感器厚膜傳感器陶瓷傳感器
集成傳感器是用標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的。通常還將用于初步處理被測信號(hào)的部分電路也集成在同一芯片上。
薄膜傳感器則是通過沉積在介質(zhì)襯底(基板)上的,相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時(shí),同樣可將部分電路制造在此基板上。
厚膜傳感器是利用相應(yīng)材料的漿料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后進(jìn)行熱處理,使厚膜成形。
陶瓷傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠-凝膠等)生產(chǎn)。
完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后,已成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié)。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,在某些方面,可以認(rèn)為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。
每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不足。由于研究、開發(fā)和生產(chǎn)所需的資本投入較低,以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因,采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。
轉(zhuǎn)速傳感器----就是旋轉(zhuǎn)編碼器,將轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)換成脈沖波(5VDC)送入PLC或其它處理器進(jìn)行處理。
電流傳感器----就是電流變送器,將0-5A或更大的電流信號(hào)轉(zhuǎn)換成4——20mA或0——20mA的標(biāo)準(zhǔn)控制信號(hào)給處理器。
電壓傳感器----就是電壓變送器,將0——100V或更大的電壓信號(hào)轉(zhuǎn)換成0——10V的標(biāo)準(zhǔn)控制信號(hào)給處理器。
振動(dòng)傳感器----檢測機(jī)械設(shè)備的振動(dòng),進(jìn)行線性輸出或繼電器輸出。
霍爾傳感器----就是電感式的接近開關(guān),采用霍爾原理。檢測距離不會(huì)超過10mm。輸出信號(hào)一般都是直流三線制的PNP或NPN輸出。
缸壓傳感器——就是壓力傳感器,可以輸出繼電器信號(hào)也可以是線性信號(hào)。
空氣流量傳感器——可以輸出繼電器信號(hào)或電壓、電流的線性信號(hào)。
溫度傳感器 ——這個(gè)一般都是線性的電壓輸出。并且要配合溫控器使用