微壓傳感器在測量過程中，壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，同時通過電子線路檢測這一變化，并轉換輸出一個對應于這個壓力的標準信號，這樣的過程就是微壓傳感器進行測量的過程。
對于微壓傳感器來說，靈敏度和線性度是微壓力傳感器*重要的兩個性能指標。為了制作出能夠滿足實際應用需求的傳感器，必需探索出一種微壓力傳感器靈敏度和線性度的有效仿真方法。實際的研究中，F(xiàn)X1S 發(fā)現(xiàn)一種基于對壓阻式壓力傳感器薄膜表面應力的有限元分析(FEA)和路徑積分的仿真方法。通過這一方法實現(xiàn)了在滿量程范圍內(nèi)不同壓力值下對傳感器電壓輸出值的**估計，在此基礎上對壓力傳感器的靈敏度和線性度進行了有效仿真。
微壓傳感器發(fā)展迅速，新研制出的一類傳感器采用壓電單晶片結構，并內(nèi)置前置放大器，通過放大器放大微弱信號并實現(xiàn)阻抗變換，從而使傳感器具有量程小、靈敏度高、抗干擾性好等特點。這類傳感器已廣泛用于脈搏、管壁壓力波動等微小信號的檢測。但與此同時，對于微壓傳感器精準度的檢驗這一技術難題，就迫切需要簡便的測量裝置測量該類型傳感器的性能。
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