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間接測量真空計

發(fā)布時間:2010-05-02

間接測量真空計 壓力為10-1Pa時,作用在1cm2表面上力只有10-5N,顯然測量這樣小的力是困難的。但可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來間接測量壓力的變化。屬于這類的真空計有: 
(1)壓縮式真空計:其原理是在U型管的基礎(chǔ)上再應(yīng)用波義耳定律,即將一定量待測壓力的氣體,經(jīng)過等溫壓縮使之壓力增加,以便用U型管真空計測量,然后用體積和壓力的關(guān)系計算被測壓力。 
(2)熱傳導(dǎo)真空計:利用低壓下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)這一原理制成。常用的有電阻真空計和熱偶真空計。 
(3)熱輻射真空計:利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)原理。 
(4)電離真空計:利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離,產(chǎn)生的離子流隨電力變化的原理。如:熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計和放射性電離真空計等。 
(5)放電管指示器:利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關(guān)的性質(zhì)判定真空度,一般僅能作為定性測量。 
(6)粘滯真空計:利用低壓下氣體與容器壁的動量交換即外摩擦原理。如振膜式真空計和磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計。 
(7)場致顯微儀:以吸附和解吸時間與壓力關(guān)系計算壓力。 
(8)分壓力真空計:利用質(zhì)譜技術(shù)進行混合氣體分壓力測量。常用的有四極質(zhì)譜計、回旋質(zhì)譜計和射頻質(zhì)譜計等。 

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