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成功案例

無塵室黃光區(qū)操作

光學(xué)黃光區(qū)操作相關(guān)須知:
1、濕度及溫度會影響對準(zhǔn)工作,在黃光區(qū)應(yīng)注意溫度及濕度,并應(yīng)減少對準(zhǔn)機(jī)附近的人,以減少濕、溫度的變化。
2、己上妥光阻,而在等待對準(zhǔn)曝光之芯片,應(yīng)放置于不透明之藍(lán)黑色晶盒之內(nèi),盒蓋必須蓋妥。
3、上妥光阻尚未曝光完成之芯片,不得攜出黃光區(qū)以免感光。

4、光罩使用時應(yīng)持取邊緣,不得觸及光罩面,任何狀況之下,光罩鉻膜不得與他物接觸,以防刮傷,光罩之落塵可以氮氣吹之。

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