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成功案例

半導(dǎo)體行業(yè)凈化解決方案


    **的晶圓設(shè)備，微粒過濾和控制AMC是必須的，微粒過濾和控制AMC是高收益、低退貨率的半導(dǎo)體行業(yè)首要擔(dān)心的問題。不能很好的在潔凈室或設(shè)備中控制微粒或MAC將大大的削弱企業(yè)的經(jīng)營利潤。潔凈室的需要對產(chǎn)品、工具加工過程中的氣味進行控制。

污染物
來源
引發(fā)問題
解決方案
粉塵
空氣
造成集成電路斷路、斷路
影響成品率
化過過濾模塊+高效過濾器/FFU
NH3NMP
外氣
“T-top”現(xiàn)象
化學(xué)過濾模塊

半導(dǎo)體行業(yè)凈化工程

    傳統(tǒng)的通風(fēng)形式是在車間的整個天花板滿布高效過濾器，整個地面為回風(fēng)柵板。如今我公司生產(chǎn)的FFU使用自帶風(fēng)機的過濾裝置，解決了繁復(fù)的安裝和性價比問題，是目前市場上一種安靜、價格優(yōu)良的機組，為潔凈室傳送高質(zhì)量的循環(huán)空氣。

半導(dǎo)體行業(yè)部分客戶名單
廣東愛立信科技有限公司
東莞三星視界有限公司
深圳昊谷光電技術(shù)有限公司
深圳深愛半導(dǎo)體有限公司
深圳市芯遠(yuǎn)半導(dǎo)體有限公司
深圳市軸心自控技術(shù)有限公司
深圳市博宇線路板設(shè)備有限公司
深圳晶力威硅膠科技有限公司
注：以上排名不分先后