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技術(shù)文章

潔凈工作臺(tái)凈化空氣原理
           空氣凈化技術(shù)應(yīng)用到半導(dǎo)體工業(yè)，半導(dǎo)體工業(yè)車(chē)間相對(duì)比較大，要建立一個(gè)無(wú)塵車(chē)間環(huán)境難度更大。早期半導(dǎo)體工業(yè)把帶過(guò)濾夾層以及墻體的方法演化為潔凈工作胎法，這個(gè)主要是把過(guò)濾器裝在單個(gè)工作臺(tái)上，并使用無(wú)脫裸的物質(zhì)。在工作臺(tái)以外，晶圓被裝在密封的盒子中存儲(chǔ)、運(yùn)輸。在大型的車(chē)間中按順序排列的工作臺(tái)組成加工區(qū)，使晶圓依工藝次序經(jīng)過(guò)而從露于空氣中。潔凈工作罩中的過(guò)濾器是一種高效顆粒搜集過(guò)濾器。這些過(guò)濾器是由含許多小孔，并按手風(fēng)琴琴葉折疊的脆性纖維組成，由于高密度的小孔與大面積的潔凈度，并且對(duì)于操作員而言，在舒適的環(huán)境中工作也是必要的。典型的空氣流量6為每分鐘90到100英寸，HEPA過(guò)濾器可達(dá)到99.99%或更高的過(guò)濾效率，并可用于三種凈化方法中。
            一般來(lái)說(shuō)，HEPA過(guò)濾器裝于潔凈工作臺(tái)頂部，空氣由風(fēng)扇吸入先通過(guò)前置過(guò)濾器，再通過(guò)HEPA過(guò)濾器，并以均勻平行的方式流出，在工作臺(tái)表面改變方向，流出工作臺(tái)，安裝擋板可控制晶圓表面空氣流動(dòng)方向，通常這種方式稱(chēng)為空氣層流立式工作臺(tái)，它是由空氣流的方向命名的，有些工作臺(tái)把HEPA過(guò)濾裝于工作臺(tái)后部，這種方式被稱(chēng)為空氣層流平行式工作臺(tái)。

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