學(xué)習(xí)潔凈室內(nèi)設(shè)備管理

    在潔凈室內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程中生產(chǎn)設(shè)備的塵粒污染是不可忽視的，大規(guī)模集成電路生產(chǎn)過程中生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)塵量要占總微粒污染量的30%左右，可見其影響之大。

    污染的類型，除了影響制作微細(xì)圖形的微塵污染外，還有可使器件特性惡化的鈉、鉀等堿金屬和銅、鐵等重金屬分子或分子級(jí)污染。所謂生產(chǎn)設(shè)備的污染，雖然有的是生產(chǎn)工藝固有的污染，但是還有源于設(shè)備制作材料、生產(chǎn)過程的原輔材料（包括反應(yīng)氣體、輸送氣體、吹掃氣體和清洗用純水等），工器具使用不當(dāng)和機(jī)械運(yùn)動(dòng)及其潤(rùn)滑劑等的各類污染。還有在產(chǎn)品生產(chǎn)過程中由于操作失誤也會(huì)造成不應(yīng)有污染。表10-15是集成電路生產(chǎn)過程中真空設(shè)備的污染類型。從各種潔凈室內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)的不銹鋼風(fēng)淋室實(shí)踐表明，加強(qiáng)潔凈室內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程中生產(chǎn)工藝和按規(guī)定記錄各類設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)及有關(guān)參數(shù)，記錄和分析定期檢查、維修、清洗狀況，尤其注意定期檢查轉(zhuǎn)動(dòng)部件、通信和**報(bào)警裝置以及自動(dòng)裝置等的完好狀態(tài)。

    建立各類設(shè)備技術(shù)狀況、運(yùn)行檔案，將設(shè)備、儀器儀表說明書、產(chǎn)品資料以及圖紙資料等分類編號(hào)妥善保管；設(shè)備維修和儀器儀表校正的記錄；設(shè)備、儀器等的故障或事故記錄；運(yùn)行記錄等均應(yīng)分別匯編成冊(cè)保管，以便掌握設(shè)備、儀器的完好狀況和即時(shí)分析可能出現(xiàn)的各種問題，確保潔凈室的正常、**運(yùn)行。

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