潔凈室的發(fā)展之道
伴隨著中國半導體工業(yè)、中國顯示器行業(yè)飛快地進步，我們也正好是伴隨著這個行業(yè)在成長，因此通過對一些項目簡單地介紹，讓這個技術性的發(fā)展，來對中國的潔凈室和半導體行業(yè)起到作用，因為工作環(huán)境是相當高的。
從范圍來講，有寬通空調(diào)系統(tǒng)、潔凈裝修、環(huán)氧涂裝、自流平、PVC地板、駕空地板、大宗氣體系統(tǒng)、特殊氣體系統(tǒng)、化學品、純水，這個我們達到了18.2兆的水平，這是世界的*高水平。還有廢水和其他的一些。
這個是我們國家**條日電電子工程生產(chǎn)線。月投片是8000片，那么，這兩個工程是我們屬于現(xiàn)代電子工廠建設的前期。我們把它作為一個高科技的工廠的前期。
從潔凈室來說，它是一個比較**的，因為時間的關系，我們不能做**的介紹，只能從空調(diào)方面來做介紹。它對于我們國家來說，也是**性的環(huán)境的解決方案。
這是我們典型的早期的方案，這一塊的半導體工廠的人員、車間都是在這個位置。那么，上下都是新風機，那么它的工作原理是在天花頂層有一個反復的高效作用器。這上面兩個是循環(huán)空調(diào)機，也可以放在上面，也可以放在側面。通過新風機組補充新風，通過循環(huán)風機把潔??室通過地面下來的回風，通過循環(huán)風機對于冷量和濕度的調(diào)節(jié)，然后送到靜壓箱進行混合，然后通過頂部循環(huán)到車間里面去。
這樣，使我們整個的氣體，跟我們大型的空調(diào)不一樣。我們大型的空調(diào)可能只有幾個功能，這里是所有的空氣從頂層全部壓下來。這是我們**步實現(xiàn)的現(xiàn)代潔凈室的原理，它達到了100級以上。
100級是什么概念呢？舉個例子，今天大家在做的環(huán)境，是我們看到的非常干凈的環(huán)境，應該是多少級呢？是200萬到300萬級，就是每立方英尺大于5個顆粒，就是相當于3.05平方米，這么大的體積里面所擁有的超過0.5以上的微米是多少。那么，我們今天這個環(huán)境，我估計在200萬到300萬G。那么，這樣的潔凈室，達到的是100微米，就是不能超過100微米，得小于100微米。
我們的集成電路在封裝之前，它的導線我們國家保守地說是0.08微米，也有說是0.07微米。所以，三個電路產(chǎn)生出來的全部是這個，所以環(huán)境對于成品是非常關鍵的。這是達到了100級的潔凈室。 <BR> 那么，到了90年代末期，比如說長虹等等的廠家，我們弄了一個909工程開始上馬了。潔凈室的建筑面積達到了1萬3千平方米，凈化面積是1G。那么剛才說的是100級，那么現(xiàn)在說的是1級。剛才我講的0.5微米以上是100級，那么這里要求的是更高，是0.12微米。所以潔凈室的技術進一步提高了。
通過干盤管進行溫度的交換，在兩邊從這里往上走。走到我們上面的靜壓箱，然后通過另外一個全新的設備，就是FFU，這是什么意思呢？就是高效空氣過濾單元，通過它往下走。新風空調(diào)機在這里，我們要往上送，它從**的角度核心上來說，就是用了FFU這個東西。
它從工作原理上，解決了我們前面一個原理。前面一個過程是什么呢？雖然是完全從頂上壓下來，我們空氣潔凈決定空氣的氣流組成形式。就是從理論上，要嚴格地每一個空氣都垂直下來，全部地壓下來。這樣的話，我們的空氣會相當?shù)馗蓛簟５?，事實上做起來會非常困難。
困難作哪里？我們可以看到，它是通過外部的風機把它送上去，送進去以后在這里往下壓。那么，這必然存在著一個阻力不平衡的問題，那么阻力大的地方風速就大，阻力小的地方風速就小，就不能嚴格地保證這個風體的垂直性。
我們這里把整個的屋面，保證垂直的情況下，這樣才能做到1級。1級是什么概念？就是1平方米只能是1微米，但是做可不能這樣，因為你考慮不能按照60分考，你按照60分考，你就可能是58分。所以，你要按照70分、80分去考，所以1微米等于是沒有做。
到了這個級別我們的凈化是跟FFU的物質(zhì)密度有關系，那么物質(zhì)密度越大，氣流就越多，但是帶來的問題是對于整個空氣循環(huán)的量非常大。那么，我們這邊通道的要求就要很寬敞，那么空氣的量越大，對于空氣處理的量就越大。我們空氣每發(fā)生一次循環(huán)，就有一個溫升，溫度就要提高，所以冷卻。所以，它處理的量就大了，那么這邊的阻力就加大了。
所以剛才前面這種方式，帶來的一個問題就是，所有的空氣全部要從這里翻過去。那么，整個把這里布滿了，溫度還處理不過來。
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