既然現(xiàn)在沒(méi)有加壓的流量校準(zhǔn)裝置在同一測(cè)試回路中既能用天然氣校準(zhǔn)也能用空氣校準(zhǔn)，*好的選擇是用惰性氣體氮?dú)?，它有與空氣接近的性質(zhì)（空氣含78%的氮?dú)猓Ｎ髂涎芯吭簱碛幸惶籽h(huán)系統(tǒng)（不是氣體管線的一部分），它是北美**的可以用同一套儀器在相同的回路中既適用于氮?dú)庖策m用于天然氣測(cè)試的裝置。盡管音速噴嘴裝置是用稱重系統(tǒng)確定質(zhì)量流率的校準(zhǔn)裝置，音速噴嘴流率計(jì)算需要?dú)怏w組成和狀態(tài)方程來(lái)確定氣體性質(zhì)。同時(shí)決定在回路中使用參考渦輪流量計(jì)來(lái)對(duì)比兩種體積計(jì)量的流量計(jì)（比如渦輪和超聲流量計(jì)）。這種參考表法相比較流量計(jì)與音速噴嘴對(duì)比的方法對(duì)氣體組成的以來(lái)要小。 
浙江大學(xué)承擔(dān)的“基于MEMS技術(shù)的天然氣流量計(jì)實(shí)用化研究”課題，日前通過(guò)“863”計(jì)劃先進(jìn)制造與自動(dòng)化領(lǐng)域MEMS專項(xiàng)組織的專家驗(yàn)收。TMF熱式流量計(jì)系列產(chǎn)品精度高、流阻小、量程寬，現(xiàn)已實(shí)現(xiàn)小批量生產(chǎn)與試用。

據(jù)介紹，科研人員重點(diǎn)研究了硅膜與基體材料之間的高效絕熱薄膜層材料和加工工藝，以及傳感器表面抗腐蝕、耐磨損、低粘附性封裝材料及封裝工藝，解決了天然氣計(jì)量的熱式流量計(jì)供電模式、靜壓誤差補(bǔ)償、溫度漂移、表面粘滯效應(yīng)等關(guān)鍵技術(shù)及工藝問(wèn)題；研制出熱慣性低、頻響高的芯片級(jí)傳感器和高精度、大量程、低功耗的熱式流量計(jì)產(chǎn)品。