潔凈工作臺 超凈工作臺 凈化工作臺的工作原理在于首先工作臺內(nèi)的空氣凈化；其次，凈化過程在工作臺內(nèi)產(chǎn)生一點空氣正壓，正壓可防止由操作員與走廊產(chǎn)生的污染物進入工作臺。
凈化工作臺在半導體工業(yè)中的應(yīng)用，半導體工業(yè)采用了許多這方面的技術(shù)。 然而一個主要的問題是當從小加工車間擴建為有更多工人工作的大型車間后，很難保持其固有的潔凈度。 早期半導體工業(yè)把帶過濾天花板夾層和墻體的方法演化為凈化工作臺。這個主要是把過濾器裝在單個工作臺上，并使用無脫落的物質(zhì)。 在凈化工作臺以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲存、運輸。
在大型車間中按順序排列的工作臺（叫做工作罩）組成加工區(qū)，使晶圓依工藝次序經(jīng)過而不從露于空氣中。潔凈工作罩中的過濾器是一種高效顆粒搜集過濾器（HEPA過濾器）。這些過濾器是由含許多小孔，并按手風琴琴葉折疊的脆性纖維組成，由于高密度的小孔與大面積的過濾層，使得大量的空氣低速流過。由于低速空氣可避免產(chǎn)生空氣流，有利于工作臺的潔凈度，并且對于操作員而言，在舒適的環(huán)境中工作也是必要的。典型的空氣流量6為每分鐘90到100 英寸。HEPA過濾器可達到99.99%或更高的過濾效率，并可用于三種凈化方法中。
一般來說，HEPA高新過濾器裝于凈化工作臺頂部?？諝庥娠L扇吸入先通過前置過濾器，再通過HEPA過濾器，并以均勻平行的方式流出，在工作臺表面改變方向，流出工作臺。安裝檔板可控制晶圓表面空氣流動方向，通常這種方式稱為空氣層流立式式（VLF）工作臺，它是由空氣流的方向命名的。有些工作臺把HEPA過濾器裝于工作臺后部，這種方式被稱為空氣層流平行（HLF）式工作臺。
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