| 1.潔凈室空氣潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)的進展 1.1前言 潔凈室空氣潔凈度等級國際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1出臺后，為大家認可并應(yīng)用。美國有關(guān)當(dāng)局于2001年11月底宣布廢除FS209E標(biāo)準(zhǔn)而代之以ISO1466-1。從而解決了FS209標(biāo)準(zhǔn)中存在著的主要矛盾，即其潔凈度等級不適應(yīng)對空氣潔凈度的越來越高的控制要求及國際單位制應(yīng)采用的需要。 此前，FS209標(biāo)準(zhǔn)的英制等級雖然存在上述矛盾，但在國際范圍內(nèi)大家還是一直沿用，原因是： (1)雖然各主要國家都有各自的潔凈室潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)，但基本是參照FS209標(biāo)準(zhǔn)僅在單位制及等級符號上進行變換，還不如采用FS209標(biāo)準(zhǔn)更為大家所熟悉及更易于溝通。1989年日本擺脫FS209的影響而頒布JISB9920潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)，改用較合理的等級依據(jù)公式，ISO14644-1的等級公式就是采用它的，但當(dāng)時是難為大家所認同的。 (2)1992年，FS209E頒布替代FS209D標(biāo)準(zhǔn)，旨在對以上存在的主要矛盾進行解決，但解決得并不理想。因此大家并沒有按其首先推薦采用的國際單位制的等級而還是沿用原英制等級(英制等級FS209亦還允許采用)。 ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)適應(yīng)發(fā)展要求，是有所發(fā)展的。現(xiàn)把其FS209E的主要不同點作一介紹，并對其等級(依據(jù))公式及表達格式等方面作一對比分析，可能有助于應(yīng)用。 1.2空氣潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1與FS209的不同點 兩標(biāo)準(zhǔn)的主要不同點匯總列于表1。 1.3有關(guān)潔凈度等級依據(jù)，表達格式等特點的對比分析 1.3.1等級依據(jù)公式不同而引起結(jié)果差異 ISO14644-1的潔凈度等級依據(jù)公式與FS209E的不同，主要是將參照粒徑由0.5µm改為0.1µm;累積分布系數(shù)n,由2.2改為2.08。其結(jié)果的差異是： (1)ISO1級比FS209E的M1級達更嚴(yán)的要求。ISO1級對被考慮粒徑為0.1µm時，其≥0.1µm粒徑*大濃度限值，即被考慮粒徑下粒子累計分布*大濃度值，為10pc/m³，其對照可見表2。ISO的等級就更適應(yīng)對潔凈度控制要求更嚴(yán)的發(fā)展需要。 (2)由于FS209的英制潔凈度等級已為大家所熟悉，改用其他標(biāo)準(zhǔn)的等級必然需要有個方便的對應(yīng)關(guān)系。ISO3、4、5、6、7、8級各與英制的1、10、100、1000、10000、100000級相當(dāng)，即在被考慮粒徑D=0.5µm時，其≥0.5µm粒子的*大濃度限值是相同的;ISO的相關(guān)等級數(shù)都是整數(shù)，若n仍采用FS209E的2.2，則與英制等級對應(yīng)的ISO的等級序數(shù)就不是整數(shù)了，因此問題不在于2.08還是2.2更符合實際，而在于方便合適，因為大氣中懸浮粒子累計分布指數(shù)n，其經(jīng)驗值一般在2~2.3間。 1.3.2非表列的等級ISO14644-1對ISO1~ISO9級范圍內(nèi)的各等級間允許按0.1遞增進行再細分，為ISO1.1、ISO1.2……為ISO8.8、ISO8.9，并強調(diào)按其依據(jù)公式進行計算各被考慮粒徑D下的≥D粒徑*大濃度限值。而FS209E則強調(diào)按其表列的標(biāo)準(zhǔn)等級，只在特殊需要情況下才允許再細分級，并按其公式近似計算其≥D的*大濃度限值。 1.3.3替代粒徑 ISO14644-1對列于其表中的主要被考慮粒徑外的粒徑，都允許作為被考慮粒徑，按其公式計算有關(guān)*大濃度限值，只要求在測量二個或更多個粒徑時，各粒徑間應(yīng)滿足大的比小的其直徑至少為1.5倍。 而FS209E則對其表列被考慮粒徑(見表2)以外的粒徑稱為替代粒徑作為控制粒徑時，在某等級下，其≥該替代粒徑的*大允許濃度限值不是按其等級依據(jù)公式計算得出，而規(guī)定仍按其表列的被考慮粒徑中，相鄰替代粒徑且大于它的一個被考慮粒徑的作為依據(jù)。這就于理不通，實屬多此一舉。 1.3.4潔凈度等級及超微粒子等的表達格式 (1)對潔凈度等級的表達格式 潔凈度等級表述格式都是指粒徑0.1µm~0.5µm范圍內(nèi)的，不適用于<0.1µm及5µm的粒徑。 ISO14644-1對潔凈度的表達格式為：等級級別;等級的占用狀態(tài);被考慮粒徑。 如：ISO4級;動態(tài);被考慮粒徑0.2µm(2370pc/ m³)，1µm(83pc/ m³)。而FS209E則無明確規(guī)定,只明確為M3.5(0.3µm)或100(0.3µm)，這個英制表達式往往被誤解，有的常把100(0.3µm)理解為≥0.3µm粒子，*大允許濃度為100Pc/ft³，實際上應(yīng)理解為100級(即≥0.5µm的粒子為100Pc/ft³)，被考慮粒徑為0.3µm，因此≥0.3µm粒子的*大濃度限值為300Pc/ft³(由100級相應(yīng)于0.3µm粒徑用表查得，見表2，或用公式進行計算)。 (2)對<0.1µm及>0.5µm粒子表達格式。 ISO14644-1定義<0.1µm粒徑的粒子為超微粒子，其表達格式為：“U(x;y)”，x——超微粒子濃度Pc/m³，y——超微粒子粒徑。對>0.5µm的粒子定義為大粒子，其表達格式為“M(a;b);c”，a,b各為濃度及粒徑，c為測量方法，這就把小于0.1µm及大于5µm范圍粒徑以描述符來規(guī)定其要求。而FS209E，超微粒子的定義為<0.02µm的粒子，采用描述符U來表達，其格式為U(x)，x指≥0.02µm粒子的濃度Pc/m³，這就無法表達對<0.1µm及>0.02µm這段粒徑的要求。另外對>0.5µm的粒子亦未作規(guī)定。 |