^[1]什么是勻膠機(jī)？ 　　勻膠機(jī)有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者SpinProcessor，又稱甩膠機(jī)、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)，總的來說，他們原理都是一樣的，既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。　　如何選購合適的勻膠機(jī)？ 　　針對目前勻膠機(jī)，筆者結(jié)合自己多年從事勻膠機(jī)技術(shù)服務(wù)的實際經(jīng)驗。幫助廣大用戶提高辨別能力，為用戶提供了直觀明確的選擇標(biāo)準(zhǔn)。　　從其原理來說，我們可以看出選購勻膠機(jī)需要注意的幾個細(xì)節(jié)“ 　　1、旋轉(zhuǎn)速度：轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實際轉(zhuǎn)速如果誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實驗數(shù)據(jù)的。　　 　　2、 材質(zhì)的選擇 　　對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大部分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)。