XY軸測量范圍

 X軸:200mm, Y軸:170mm

分辨率

 0.001mm /0.0005 mm/0.0001 mm（可轉(zhuǎn)換）

測量精度（在20℃時）

 (3+0.02L)μm L＝測量長度（mm）

計數(shù)器座標(biāo)軸數(shù)

 3軸

載物玻璃尺寸

260×230mm

工作臺面尺寸

410×342mm

測量裝置

內(nèi)置光柵尺

旋轉(zhuǎn)功能

±5°（左）

*大工件重量

20 kg

*大工件高度

150mm

光管（選配）

單目目鏡、十字投影法、帶TV安裝座、光通比（目鏡/CCD相機(jī)：50/50固定）

目鏡

10x，視野范圍24mm

物鏡

3x

透射照明

科勒照明，12v/50w鹵素?zé)?，帶有可調(diào)孔徑光闌（無級亮度調(diào)節(jié)）

反射照明

遠(yuǎn)心照明，12v/50w鹵素?zé)?，帶有可調(diào)孔徑光闌（無級亮度調(diào)節(jié)）

資料輸出

通過RS-232C端口

電源

220V,50/60Hz,160W

外觀尺寸

 626*887*750mm

重量

130kg