圖a是平板形直線位移式結(jié)構(gòu)，其中極板1可以左右移動(dòng)，稱(chēng)為動(dòng)極板。極板2固定不動(dòng)，稱(chēng)為定極板。圖b是同心圓筒形變面積式傳感器。外圓筒不動(dòng)，內(nèi)圓筒在外圓筒內(nèi)作上、下直線運(yùn)動(dòng)。圖c是一個(gè)角位移式的結(jié)構(gòu)。極板2的軸由被測(cè)物體帶動(dòng)而旋轉(zhuǎn)一個(gè)角位移q 度時(shí)，兩極板的遮蓋面積A就減小，因而電容量也隨之減小。

變面積式電容傳感器的輸出特性是線性的，靈敏度是常數(shù)。這一類(lèi)傳感器多用于檢測(cè)直線位移、角位移、尺寸等參量。