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技術(shù)文章

空氣潔凈度級(jí)別劃分
              美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209E的空氣潔凈度級(jí)別
級(jí)別名稱(chēng)級(jí)別限制
0.1υm　0.2υm　0.3υm　0.5υm　5υm　
容積單位　容積單位　容積單位　容積單位　容積單位　
國(guó)際單位英制單位M3ft3M3ft3M3ft3M3ft3M3ft3
M1　3509.9175.72.1430.90.875100.283　　
M1.51124035.52653.5106335.31　　
M2　3500099.175721.53098.751002.83　　
M2.51012400350265075.510603035310　　
M3　350009917570214309087.5100028.3　　
M3.5100　　26500750106003003530100　　
M4　　　7570021403090087510000283　　
M4.51000　　　　　　3530010002477
M5　　　　　　　1000283061817.5
M5.510000　　　　　　3530010000247070
M6　　　　　　　1000000283006180175
M6.5100000　　　　　　3530010000024700700
M7　　　　　　　100000028300618001750
以是209E空氣潔凈度級(jí)別劃分相關(guān)參數(shù).