壓力檢測原理比較
①    硅微電容原理  敏感元件是由硅材料做成的電容小片，特點是：

a.      體積小、功耗低；

b.      響應(yīng)快，便于集成；

c.      線脹系數(shù)小，受溫度影響??；

d.      硅的彈性滯后小，不存在疲勞，零點穩(wěn)定。

②    硅諧振原理  采用三維表面微機械加工的兩個結(jié)構(gòu)完全一樣的H形硅諧振梁，測兩個諧振梁的頻率差。特點是：

a.      微型構(gòu)件體積小，功耗低；

b.      響應(yīng)快，便于和信號處理部分集成；

c.      硅材料線脹系數(shù)小，彈性好，不存在疲勞；

d.      滯后小，零點穩(wěn)定，5年不需調(diào)零點；

e.      工作幾乎不受靜壓和環(huán)境溫度變化影響；

f.       優(yōu)良的單向過壓特性。

③    雙電容硅元件

a.      精度高：±0.035%

b.      量程比寬：450:1

④    擴散硅原理

在制造擴散硅過程中將硼擴散到硅的晶格中去，形成一個十分靈敏的惠斯登電橋。傳感器的測量范圍直接由組合電橋的硅片厚度來決定（靠化學(xué)蝕刻來保證厚度）。特點是重復(fù)性、穩(wěn)定性很好。

⑤單晶硅原理   特點是：

a.      力學(xué)性能穩(wěn)定；

b.      物理尺寸和材料蠕變很??；

c.      可靠性高，無故障時間長達(dá)100年。

⑥陶瓷電容原理   特點是：

a.      良好的溫度特性；

b.      遲滯性小

c.      穩(wěn)定性高。

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