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小型1000℃RTP爐技術(shù)參數(shù)
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爐體結(jié)構(gòu)
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● 雙層莫來石鋼構(gòu)（不帶水冷或風(fēng)冷）
● 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命
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加熱元件
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● 8 根紅外燈管 (D=10 L=300 T =200, mm）（點(diǎn)擊圖片查看詳情）
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加熱區(qū)
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12" length with 4"X12”恒溫區(qū)（ +/-5oC ）
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石英管和樣品架
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● 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
● 3" 的樣品架固定在滑動法蘭上，石英材料
● 一片3" AlN 片放在樣品架上用來放置需要退火的樣品
● AlN 具有很高的熱導(dǎo)率，所以在樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性+\- 5°C
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真空法蘭
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● 帶KF-D25 高真空法蘭由不銹鋼制作，兩個高溫“O”型圈密封
● 滑動法蘭使裝載樣品很容易. 3" 樣品架和內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準(zhǔn)確
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水冷
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如果要求通冷卻水
● 請確定冷卻水流速 ≥ 3L/min, 水溫 < 20oC; 水壓 > 25 PSI
● 我們建議采用 循環(huán)水制冷器作為冷卻系統(tǒng)（為了節(jié)約用水）
● 警告: 這款 RTP 爐在1000oC ~ 1100oC下保溫時(shí)間不超過 600 秒，否則“ O”圈將被燒融
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小型1000℃RTP爐流量計(jì)
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范圍： 16 - 160 ml/min
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真空表
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● 標(biāo)配：數(shù)字真空表，測量范圍：10mtorr~800 torr 。注意：此表是在氮?dú)庀滦?zhǔn)的，只有在氮?dú)夂涂諝庀卤砩巷@示的是實(shí)際壓力，當(dāng)通入任何其他氣體時(shí)，必須參考說明書中的相對氣體對照表，否則后果會很嚴(yán)重。
● 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片了解詳細(xì)參數(shù)）
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真空度
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● 用機(jī)械泵真空度達(dá) 50 mtorr
● 用分子泵真空度可達(dá) 10-4 torr
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溫度控制
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PID 自動控制， 可控硅 SCR
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熱偶
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進(jìn)口K 型熱偶, 緊貼在放樣品的AlN片下
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溫控儀
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● PID 自動控制，30段程序帶過熱和斷偶保護(hù)
● 熱偶: 進(jìn)口K type
● 自整定功能
● 控溫精度: +/- 1°C
● RS485 串口和溫控軟件（模塊和數(shù)據(jù)線需要另購）
● 溫控操作視頻：點(diǎn)擊查看
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*快升溫速度
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室溫~800℃： 50 oC/sec ，800℃~1000℃： 10oC/sec
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*新升溫曲線
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直接升溫到1000℃；分階段升溫?cái)?shù)據(jù) 請點(diǎn)擊查看
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*快降溫速度
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● 60oC/min (在 200 mtorr下), 117oC/min (在一個大氣壓下)
● 選擇: 為得到較快的降溫速度 < 10°C/秒, 你可以選擇帶滑軌的 RTP 爐，如下圖:
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溫度
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*高1100oC ，額定1000°C
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電源
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208-240 AC, 50/60 Hz 單相, *大功率9KW (> 60A 保險(xiǎn))
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注意
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此爐可以增加鍍SiC的石墨坩堝改造成RTE(快速熱蒸發(fā)）爐（可查看下方的圖片自己制備RTE）
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尺寸
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760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H)
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重量
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45 kg (100 lbs)
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保修期
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電器部分一年質(zhì)保期 (耗材：如爐管，“O”型圈和加熱燈管等不在保修范圍內(nèi)）
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認(rèn)證
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● CE 認(rèn)證
● 所有電器元件（>24V）都通過 UL / MET / CSA 認(rèn)證
● 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國 TUV 認(rèn)證或 CAS 認(rèn)證
    
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國家磚利
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磚利名稱：一種快速高溫退火爐
磚利編號：ZL-2011-2-0077168.4
尊重**、鄙視抄襲、侵權(quán)必究
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注意事項(xiàng)
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①爐管內(nèi)氣壓不可高于 0.02MPa
②由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會更加****
③當(dāng)爐體溫度高于 1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)
④進(jìn)入爐管的氣體流量需小于 200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
⑤石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃
⑥對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于 0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
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