- 如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話，可以
- 產(chǎn)品名稱：反射式膜厚量測(cè)儀
- 產(chǎn)品型號(hào)：大塚電子
- 產(chǎn)品展商：大塚電子
- 產(chǎn)品文檔：無(wú)相關(guān)文檔
- 發(fā)布時(shí)間：2020-04-02
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簡(jiǎn)單介紹
反射式膜厚量測(cè)儀對(duì)應(yīng)所有基板上多層膜測(cè)量的光干涉膜厚儀。實(shí)績(jī)很多。
高精度，高感度從薄膜到厚膜的廣范圍多層膜分析
產(chǎn)品描述
可對(duì)應(yīng)所有基板上多層膜測(cè)量的光干涉膜厚儀。實(shí)績(jī)很多。
高精度，高感度從薄膜到厚膜的廣范圍多層膜分析
反射式膜厚量測(cè)儀的產(chǎn)品特點(diǎn)
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對(duì)應(yīng)紫外到近紅外（190～1600nm）廣波長(zhǎng)范圍。
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利用高分辨率傳感器，可對(duì)應(yīng)厚膜以及超厚膜樣品類型：0.8～1mm
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利用非線性*小二乘法薄膜解析軟件，可解析多層薄膜的膜厚，光學(xué)常數(shù)（n:折射率，k：消光系數(shù)）等薄膜特性。
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利用背面反射補(bǔ)正，對(duì)應(yīng)透明基板
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可測(cè)量微小光斑（*小3μm）的分光光譜
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可對(duì)應(yīng)大型樣品
光學(xué)系圖
式樣
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樣品尺寸
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200mm*200mm*7mm（厚度）
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測(cè)量膜厚范圍
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1nm-1mm
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測(cè)量波長(zhǎng)范圍
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190nm~1600nm
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可測(cè)量層膜數(shù)
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*大50層
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傳感器
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電子冷卻型光電二極管配列
電子冷卻型CCDarea image sensor
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測(cè)量項(xiàng)目
多層膜解析
光學(xué)常數(shù)解析(n：折射率k:消光系數(shù))
**反射率
測(cè)量實(shí)例
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