- 如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話(huà)，可以
- 產(chǎn)品名稱(chēng)：膜厚量測(cè)儀FE-300
- 產(chǎn)品型號(hào)：
- 產(chǎn)品展商：大塚電子
- 產(chǎn)品文檔：無(wú)相關(guān)文檔
- 發(fā)布時(shí)間：2020-04-02
- 在線(xiàn)詢(xún)價(jià)
簡(jiǎn)單介紹
膜厚量測(cè)儀FE-300的特點(diǎn)
測(cè)試范圍涵蓋薄膜到厚膜
膜厚量測(cè)儀FE-300的特點(diǎn)
小型?低價(jià)，精度高
無(wú)復(fù)雜設(shè)定，操作簡(jiǎn)單，短時(shí)間內(nèi)即可上手
外觀(guān)新穎，操作性提高
非線(xiàn)性*小二乘法，實(shí)現(xiàn)光學(xué)常數(shù)解析（n：折射率、k：消光系數(shù)）
產(chǎn)品描述
小型?低價(jià)格！簡(jiǎn)單操作”非接觸”膜厚量測(cè)儀FE-300！
膜厚量測(cè)儀FE-300的特點(diǎn)
-
測(cè)試范圍涵蓋薄膜到厚膜
-
基于**反射率光譜分析膜厚
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小型?低價(jià)，精度高
-
無(wú)復(fù)雜設(shè)定，操作簡(jiǎn)單，短時(shí)間內(nèi)即可上手
-
外觀(guān)新穎，操作性提高
-
非線(xiàn)性*小二乘法，實(shí)現(xiàn)光學(xué)常數(shù)解析（n：折射率、k：消光系數(shù)）
對(duì)應(yīng)膜種
○ 多層膜 ○ 折射率傾斜
○ 非干涉膜 ○ 超晶格結(jié)構(gòu)
用途
○ 光學(xué)薄膜（ARfilm、ITO等）
○ FPD相關(guān)（ITO、PI、PC、CF等）
測(cè)量項(xiàng)目
多層膜厚解析
**反射率測(cè)量
光學(xué)常數(shù)解析（n：折射率k:消光系數(shù)）
測(cè)量實(shí)例
式樣
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型號(hào)
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FE-300V
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FE-300UV
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FE-300NIR *1
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本體
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標(biāo)準(zhǔn)型
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薄膜型
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厚膜型
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厚膜型（高分辨率）
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樣品尺寸
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*大 8 寸晶圓（ 厚度 5 mm ）
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測(cè)量膜厚范圍（ｎｄ值）
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100 nm ～ 40 μm
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10 nm ～ 20 μm
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3 μｍ ～ 300 μm
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15 μｍ ～ 1.5 mm
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測(cè)量波長(zhǎng)范圍
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450 nm ～ 780 nm
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300 nm ～ 800 nm
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900 nm ～ 1600 nm
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1470 nm ～ 1600 nm
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測(cè)量精度
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± 0.2 nm 以?xún)?nèi) *2
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± 0.2 ｎｍ 以?xún)?nèi) *2
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重復(fù)精度
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0.1 nm 以?xún)?nèi) *3
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0.1 nm 以?xún)?nèi) *3
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測(cè)量時(shí)間
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0.1 s ～ 10 s 以?xún)?nèi)
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光斑直徑
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約 φ 3 mm
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光源
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鹵素?zé)?/span>
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氙燈與鹵素?zé)?/span>
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鹵素?zé)?/span>
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鹵素?zé)?/span>
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通訊接口
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USB
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尺寸，重量
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280（W) × 570（D） × 350（H） mm、 約 24 kg
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軟件功能
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標(biāo)準(zhǔn)
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波峰波谷解析、FFT解析、*適化法解析、*小二乗法解析
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選配功能
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材料評(píng)價(jià)軟件、薄膜模型解析軟件、標(biāo)準(zhǔn)片解析
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*1 細(xì)規(guī)格請(qǐng)咨詢(xún)
*2 相對(duì)于VLSI 公司產(chǎn)膜厚標(biāo)準(zhǔn)（100nm SiO2/Si）的膜厚保證書(shū)記載的測(cè)量保證值范圍
*3 VLSI 公司產(chǎn)膜厚標(biāo)準(zhǔn)（100nm SiO2/Si）的同一點(diǎn)反復(fù)測(cè)量時(shí)的擴(kuò)張不確定度（包括因子2.1）
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