- 如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話(huà),可以
- 產(chǎn)品名稱(chēng):膜厚量測(cè)儀FE-300
                        
- 產(chǎn)品型號(hào):
- 產(chǎn)品展商:大塚電子
- 產(chǎn)品文檔:無(wú)相關(guān)文檔
- 發(fā)布時(shí)間:2020-04-02
- 在線(xiàn)詢(xún)價(jià)
 
            
                簡(jiǎn)單介紹
                
                    膜厚量測(cè)儀FE-300的特點(diǎn)
測(cè)試范圍涵蓋薄膜到厚膜
膜厚量測(cè)儀FE-300的特點(diǎn)
小型?低價(jià),精度高
無(wú)復(fù)雜設(shè)定,操作簡(jiǎn)單,短時(shí)間內(nèi)即可上手
外觀(guān)新穎,操作性提高
非線(xiàn)性*小二乘法,實(shí)現(xiàn)光學(xué)常數(shù)解析(n:折射率、k:消光系數(shù))
             
            
                產(chǎn)品描述
                
                    小型?低價(jià)格!簡(jiǎn)單操作”非接觸”膜厚量測(cè)儀FE-300!
膜厚量測(cè)儀FE-300的特點(diǎn) 
	- 
		測(cè)試范圍涵蓋薄膜到厚膜 
	
- 
		基于**反射率光譜分析膜厚 
	
- 
		小型?低價(jià),精度高 
	
- 
		無(wú)復(fù)雜設(shè)定,操作簡(jiǎn)單,短時(shí)間內(nèi)即可上手 
	
- 
		外觀(guān)新穎,操作性提高 
	
- 
		非線(xiàn)性*小二乘法,實(shí)現(xiàn)光學(xué)常數(shù)解析(n:折射率、k:消光系數(shù)) 
	
對(duì)應(yīng)膜種
○ 多層膜                        ○ 折射率傾斜
○ 非干涉膜                    ○ 超晶格結(jié)構(gòu)
 
用途
○ 光學(xué)薄膜(ARfilm、ITO等)
○ FPD相關(guān)(ITO、PI、PC、CF等)
 
測(cè)量項(xiàng)目
多層膜厚解析
**反射率測(cè)量
光學(xué)常數(shù)解析(n:折射率k:消光系數(shù))
 
測(cè)量實(shí)例
 
式樣
	
		
			| 型號(hào) | FE-300V | FE-300UV | FE-300NIR *1 | 
		
			| 本體 | 標(biāo)準(zhǔn)型 | 薄膜型 | 厚膜型 | 厚膜型(高分辨率) | 
		
			| 樣品尺寸 | *大 8 寸晶圓( 厚度 5 mm ) | 
		
			| 測(cè)量膜厚范圍(nd值) | 100 nm ~ 40 μm | 10 nm ~ 20 μm | 3 μm ~ 300 μm | 15 μm ~ 1.5 mm | 
		
			| 測(cè)量波長(zhǎng)范圍 | 450 nm ~ 780 nm | 300 nm ~ 800 nm | 900 nm ~ 1600 nm | 1470 nm ~ 1600 nm | 
		
			| 測(cè)量精度 | ± 0.2 nm 以?xún)?nèi) *2 | ± 0.2 nm 以?xún)?nèi) *2 | - | - | 
		
			| 重復(fù)精度 | 0.1 nm 以?xún)?nèi) *3 | 0.1 nm 以?xún)?nèi) *3 | - | - | 
		
			| 測(cè)量時(shí)間 | 0.1 s ~ 10 s 以?xún)?nèi) | 
		
			| 光斑直徑 | 約 φ 3 mm | 
		
			| 光源 | 鹵素?zé)?/span> | 氙燈與鹵素?zé)?/span> | 鹵素?zé)?/span> | 鹵素?zé)?/span> | 
		
			| 通訊接口 | USB | 
		
			| 尺寸,重量 | 280(W) × 570(D) × 350(H) mm、 約 24 kg | 
		
			| 軟件功能 | 
		
			| 標(biāo)準(zhǔn) | 波峰波谷解析、FFT解析、*適化法解析、*小二乗法解析 | 
		
			| 選配功能 | 材料評(píng)價(jià)軟件、薄膜模型解析軟件、標(biāo)準(zhǔn)片解析 | 
	
*1  細(xì)規(guī)格請(qǐng)咨詢(xún) 
*2  相對(duì)于VLSI 公司產(chǎn)膜厚標(biāo)準(zhǔn)(100nm SiO2/Si)的膜厚保證書(shū)記載的測(cè)量保證值范圍
*3  VLSI 公司產(chǎn)膜厚標(biāo)準(zhǔn)(100nm SiO2/Si)的同一點(diǎn)反復(fù)測(cè)量時(shí)的擴(kuò)張不確定度(包括因子2.1)
   
    
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