● 操作簡(jiǎn)單，通常只需兩鍵 （檢漏和放氣）
● 進(jìn)口的多口分子泵
● 雙燈絲自動(dòng)切換
● 自動(dòng)調(diào)零
● 自動(dòng)校準(zhǔn)
● 自動(dòng)量程切換
SFJ-231型氦質(zhì)譜檢漏儀將廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的維護(hù)、工業(yè)氣體系統(tǒng)的檢測(cè)與安裝、元器件在組裝前的漏率測(cè)試及要求高抽速、高靈敏度以及清潔測(cè)試條件下的應(yīng)用場(chǎng)合。

SFJ-231測(cè)氡儀參數(shù)：
*小可檢漏率:5x10 -12Pa*m3/S
檢測(cè)范圍:103~10 -12Pa*m3/S
*大進(jìn)氣口壓:1000Pa
響應(yīng)時(shí)間:<1s
吸**式:1x10 -8Pa*m3/S
環(huán)境溫度:5°C~35°C
相對(duì)溫度: <80%
供電電壓、單向交流   220V±10%，50Hz
*大工作電流: 6A    
檢測(cè)口規(guī)格:DN25  ISO-KF
外型尺寸: (W)900x(D)560x(H)650
重量:72kg
吸槍:標(biāo)準(zhǔn)2.5m根據(jù)客戶要求定制