于測量低于大氣壓的稀薄氣體總壓力的儀表,又稱真空規(guī)。真空計(jì)的測量單位沿用壓力測量單位,壓力的國際單位為帕(Pa),曾使用的單位還有托(Torr)和毫巴(mbar)等。
真空計(jì)可分為**真空計(jì)和相對真空計(jì)兩大類。凡能從其本身測得的物理量(如液柱高度、工作液、比重等)直接計(jì)算出氣體壓力的稱**真空計(jì),這種真空計(jì)測量精度較高,主要用作基準(zhǔn)量具。相對真空計(jì)主要利用氣體在低壓力下的某些物理特性(如熱傳導(dǎo)、電離、粘滯性和應(yīng)變等)與壓力的關(guān)系間接測量,其測量精度較低,而且測量結(jié)果還與被測氣體種類和成分有關(guān)。因此相對真空計(jì)必須用**真空計(jì)標(biāo)定和校準(zhǔn)后方能用作真空測量。但它能直接讀出被測壓力,使用方便,在實(shí)際應(yīng)用中占絕大多數(shù)。真空技術(shù)需要測量的壓力范圍為105~10-11帕,甚至更小,寬達(dá)16個數(shù)量級以上,尚無一種真空計(jì)能適用于從粗真空(105~102帕)、低真空(102~10-1帕)、高真空(10-1~10-5帕)、超高真空(小于10-5帕)到極高真空(小于10-10帕)的全范圍測量,因而有多種真空計(jì)。*常用的有U形管真空計(jì)、壓縮式真空計(jì)、電阻真空計(jì)和冷熱陰極電離真空計(jì)。 U形管真空計(jì) 用以測量粗真空和低真空的**真空計(jì)(圖1)。在U字形的玻璃管中充以工作液(低蒸氣壓的油、汞)。管的一端被抽成真空(或直接通大氣),另一端接被測真空系統(tǒng)。根據(jù)兩邊管中的壓差所造成的液柱差可測出被測真空系統(tǒng)的壓力。 壓縮式真空計(jì) 又稱麥克勞真空計(jì),是一種測量低真空和高真空的**真空計(jì)。
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