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技術(shù)文章

熱式氣體質(zhì)量流量計 精度的進步
    自從熱電偶技術(shù)和早期的專線式風(fēng)速計產(chǎn)生之后，熱式流量測量技術(shù)已經(jīng)有了長足的進步。 熱式氣體質(zhì)量流量計 技術(shù)以熱傳導(dǎo)為基礎(chǔ)．一般是根據(jù)兩個溫度傳感器間的溫差產(chǎn)生一個直接與溫差和質(zhì)量流量成比例的信號。很久以來． 熱式氣體質(zhì)量流量計 在很多行業(yè)中得以應(yīng)用，并滿足了一些特殊的要求?，F(xiàn)代化的 熱式氣體質(zhì)量流量計 在設(shè)計上已由實驗室設(shè)備進化為了牢固的過程設(shè)備．每一代新產(chǎn)品都在傳感器性能方面有突破性的進步。
     早期的 熱式氣體質(zhì)量流量計 產(chǎn)品設(shè)計者們在維持生產(chǎn)公差．溫度跟蹤及符合工業(yè)封裝標(biāo)準(zhǔn)方面經(jīng)歷了很多挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)使得設(shè)計者們采用更牢固，生產(chǎn)上更具備一致性的熱電阻( RTD)．基于熱電阻的流量傳感器很快被分類，并與早期的溫差設(shè)備相關(guān)聯(lián)，并且成為了熱式流量傳感器家族的一部分。隨著RTD的改進，生產(chǎn)商們更向傾于采用鉑纏繞低質(zhì)量型設(shè)計。隨著時間的推移，生產(chǎn)技術(shù)向更小公差的方向演變，從而使得兩個RTD的配對成為了控制上越來越嚴(yán)格的過程。
由于大部分現(xiàn)代化的熱式設(shè)計是基于兩個RTD之間的差值．因此RTD在構(gòu)造上一定要一致。早期．FCI和其他一些廠家意識到了這一點，并且FCI設(shè)計出了**個等質(zhì)量傳感器構(gòu)造。這種傳感器設(shè)計確保了傳感元件在追蹤過程變化的時候可以保持一貫性。等質(zhì)量設(shè)計是一種突破性的進展，大大拓寬了熱式傳感原理的使用范圍，使之在多種過程應(yīng)用中有了用武之地。
     隨著制造技術(shù)，填充方法、熱道時效及材料優(yōu)化等方面的進步，產(chǎn)品的性能也有了逐步的提高。如今．FGI及其他采用*新RTD生產(chǎn)技術(shù)的公司，通過使用平版印刷蝕刻芯片RTD．真正避免了RTD間的生產(chǎn)公差，使得RTD的調(diào)整成為簡單．可復(fù)制的步驟。因此，可以用極低的成本生產(chǎn)出高質(zhì)量．易配對的RTD。這一進步直接推動了熱式技術(shù)向更高性能更低成本的方向發(fā)展。

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