- 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以
- 產(chǎn)品名稱：MT-300半導(dǎo)體晶圓檢查顯微鏡
- 產(chǎn)品型號：MT-300半導(dǎo)體檢查顯微鏡
- 產(chǎn)品展商：OUMIT
- 產(chǎn)品價(jià)格：0.00 元
- 折扣價(jià)格：0.00 元
- 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
- 發(fā)布時(shí)間：2018-09-02
- 在線詢價(jià)
簡單介紹
MT-300半導(dǎo)體檢查顯微鏡是我司為半導(dǎo)體行業(yè)專業(yè)開發(fā)的半導(dǎo)體檢查顯微鏡，高性價(jià)比，適用于各種電子元件、晶圓和大型樣本的觀察量測需求。
高靈敏度載物臺可以迅速決定位置
產(chǎn)品描述
MT-300半導(dǎo)體檢查顯微鏡
技術(shù)參數(shù)
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配 置
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MT-200
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MT-300
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MT-400
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測量范圍(mm)
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X
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200
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300
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400
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Y
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150
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200
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300
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Z
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150
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150
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150
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工作臺
(mm)
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鋁合金臺面
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400*280
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500*350
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600*500
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玻璃臺面
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245*192
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350*250
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450*350
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承 重
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15Kg
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影像及
測量系統(tǒng)
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CCD
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630萬 1/1.8"高分辨率彩色相機(jī)/HDMI智能量測相機(jī)
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光學(xué)系統(tǒng)
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無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)
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三目觀察筒
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三目觀察筒（分光比50：50），0.65X CTV接口
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目鏡
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PL10X/22平場高眼點(diǎn)目鏡（其中1只十字刻度）
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物 鏡
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5X物鏡（明場半導(dǎo)體物鏡）， 5X/0.15 WD 44mm
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10X物鏡（明場半導(dǎo)體物鏡），10X/0.3 WD 34mm
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20X物鏡（明場半導(dǎo)體物鏡），20X/0.35 WD 29mm
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50X物鏡（明場半導(dǎo)體物鏡），50X/0.5 WD 17mm
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顯示分辨率
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0.001mm
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測量精度
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X/Y軸
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（3+L/200）um
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Z軸(選配)
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（5+L/200）um
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重 復(fù) 性
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2um
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調(diào)焦系統(tǒng)
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手 動
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Z軸行程150mm，
粗微調(diào)同軸，左右手柄（粗調(diào)：40mm/圈、微調(diào)：0.02mm/圈）
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照明系統(tǒng)
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反射：柯勒照明系統(tǒng)，5W白色LED
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透射：5W白色LED，
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偏光裝置
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直偏、檢偏器
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臺式電腦
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8G/500G/DVD/鍵鼠/+21.5液晶顯示器
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測量軟件
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二維幾何量測量功能主要包括：兩點(diǎn)間距離、點(diǎn)到直線的距離、角度、圓心距；十字線顯示，
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校正片
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0.01mm
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電 源
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90～240V電壓，50HZ
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儀器重量
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320Kg、
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可供附件
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0.5X CTV接口
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DIC微分干涉片
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100X物鏡（明場無限遠(yuǎn)），
100X/0.80 WD2.1mm選配
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